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Finlandia - Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excl. gafas) - Recortadora de haz de iones

Original Finland - Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) - Ion beam trimmer

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VTT Technical Research Centre of Finland Ltd adjudicó un contrato para una herramienta de recorte por haz de partículas para obleas de 200 mm, destinada al procesamiento frontal de semiconductores en la sala limpia de VTT Micronova. El haz de partículas puede ser un haz de iones o un haz de racimo de gas, con una anchura a media altura de entre 3 y 15 mm. La herramienta debía ser compatible con la instalación en una sala limpia clasificada ISO 4. El contrato se adjudicó a Sales Department por 1 256 300 EUR. La fecha de adjudicación fue el 02.09.2026. Más detalles figuraban en los documentos de la invitación a licitar.

Descripción

The object of the tender was 200 mm wafer particle beam trimming tool for VTT Micronova cleanroom semiconductor front end processing. The particle beam may be an ion beam, or a gas cluster beam, with a full width at half maximum within 3-15 mm. The tool had to be compatible with installation in an ISO 4 classified cleanroom. The object of the tender process was described in more detail in the invitation to tender documents.

Fuente oficial

Fuente: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Verifica siempre los detalles en el anuncio oficial.

Última verificación con TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) hace 1 semana

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