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Repair of JEOL JSM microscope

Original Reparatur Mikroskop Jeol JSM

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The contract covers a complete hardware and software retrofit, maintenance and modernisation of a JEOL JSM-7500F field emission scanning electron microscope with a cold cathode, including its integrated EDX system (Bruker XFlash Detector 5030 with Esprit 1.9 software). The work includes replacing the cold cathode and its insulation ceramic with new or certified parts, meeting quantitative acceptance criteria such as a stable emission current of at least 10 microamps, brightness equal to original factory specifications and probe current drift within plus or minus 5 percent over 2 hours. The manual sample exchange chamber is to be overhauled or renewed with defined vacuum leak rate and pump-down time requirements, and migration to Windows 11 is planned.

Description

Projekt: Hard- und Software-Retrofit eines Rasterelektronenmikroskops (REM) JEOL JSM-7500F inklusive EDX-System 1. Gegenstand der Ausschreibung Gegenstand dieser Ausschreibung ist das vollumfängliche Retrofit, die Wartung sowie die Modernisierung der Steuerungs-Hard- und Software eines Rasterelektronenmikroskops vom Typ JEOL JSM-7500F (Feldemissions-REM mit Kaltkathode) sowie des integrierten EDX-Systems (Bruker XFlash Detector 5030 mit Software Esprit 1.9). Ziel des Projektes ist die Wiederherstellung der vollen Betriebsbereitschaft, die Sicherung der Zukunftsfähigkeit durch Migration auf ein modernes Betriebssystem (Windows 11) sowie die Gewährleistung der spezifizierten Performance-Werte durch objektive Prüfbelege. 2. Leistungsumfang und technische Anforderungen 2.1. Elektronenquelle (Kaltkathode & Keramik - Emitter- und Säulentausch) - Austausch: Die bestehende Kaltkathode sowie die zugehörige Isolationskeramik sind gegen Neu- oder zertifizierte Austauschteile zu ersetzen. - Abnahmekriterium (quantitativ): Nach dem Einbau und dem Flashen (Emission Start) muss ein stabiler Emissionsstrom von mindestens Ie=10µA (oder Herstellerspezifikation) erreicht werden. o Der Richtstrahlwert (Brightness) muss die originalen Werksangaben des JEOL JSM- 7500F erreichen. o Stabilität: Der Sondenstrom darf innerhalb eines kontinuierlichen Betriebs von 2 Stunden nach dem täglichen Flashen um nicht mehr als +- 5% driften. 2.2. Überholung/Erneuerung des manuellen Schleusensystems - Leistung: Das manuelle Proben-Schleusensystem (Vakuumsperre/Präparationsschleuse) ist durch ein funktionsgleiches System zu ersetzen. - Abnahmekriterium (quantitativ): o Vakuum-Leckrate: Die Leckrate der Schleusenkammer darf nach Absperrung 1*10-8mbar*l/s nicht überschreiten. o Evakuierungszeit: Die Zeit vom Schließen der Außenschleuse bis zum Erreichen des Transfervakuums (< 10*10-4mbar) darf maximal 20min betragen. o Die mechanische Führung muss spielfrei und mit einer Kraft von <15N manuell bedienbar sein. 2.3. Hard- und Software-Retrofit (angestrebt: Windows 11 Migration) - Steuerungs-PC & Schnittstellen: Lieferung eines modernen Steuerungs-PCs inklusive aller notwendigen Interface-Karten (Frame Grabber, DAQ-Karten etc.), die vollständig kompatibel mit der REM-Elektronik sind. - Betriebssystem: Vollständige Lauffähigkeit aller Steuerungs- und Analysekomponenten unter Windows 11 Pro (64-Bit), Windows 10 nach Rücksprache.- REM-Steuerung: Upgrade der JEOL-Steuerungssoftware auf eine Windows-11-kompatible Version unter Beibehaltung des vollen Funktionsumfangs (Automatisierungsfunktionen, Stigmatorkontrolle, etc.). - EDX-System: Upgrade des Bruker XFlash 5030 Detektorsystems. Die bestehende Software (Esprit 1.9) ist auf die aktuelle, unter Windows 11 / 10 lauffähige Esprit-Version (oder eine äquivalente, vom Hersteller autorisierte Nachfolgeversion) zu migrieren. Alle alten Kalibrierdaten müssen übernommen oder neu eingemessen werden. - Abnahmekriterium (quantitativ): o Latenz: Die Bildübertragungsrate im Live-View (Fast Scan) muss mindestens 15 Frames pro Sekunde (fps) bei einer Auflösung von 1024 x 768 Pixeln betragen. o Stabilität: Nachweis eines fehlerfreien 72-Stunden-Dauerbetriebs (Stress-Test) ohne Systemabstürze, Verbindungsabbrüche zum REM/EDX oder Software-Freezes. 3. Funktionsnachweise und quantitative Abnahmebelege (KPIs) Die finale Abnahme erfolgt erst nach erfolgreicher Erbringung und Dokumentation folgender Nachweise durch den Auftragnehmer: 3.1. Auflösungsvermögen (REM) Der Nachweis des Auflösungsvermögens ist mittels einer zertifizierten Standardprobe (z. B. Gold-Inseln auf Kohlenstoff) zu erbringen: - Hochvakuum / Hohe Spannung: Erreichen einer Linienauflösung von mindestens 1,2nm bei 30kV (Sekundärelektronen-Detektor). - Niedrige Spannung: Erreichen einer Linienauflösung von mindestens 3,0nm bei 1kV. - Beleg: Einreichung von jeweils 5 hochaufgelösten Bildern inklusive digitaler Auswertung (FastFourier-Transformation / FFT zur Bestimmung der Auflösungsgrenze). 3.2. Vakuum-Spezifikationen - Endvakuum Kathoden-Kammer (SIP): 1*10-7Pa (bzw. entsprechende Werksvorgabe für die Kaltkathode). - Endvakuum Probenkammer: 10*10-4Pa innerhalb von 20 Minuten nach Probenwechsel. 3.3. EDX-Leistungsfähigkeit (Bruker XFlash 5030) - Energieauflösung: Nachweis der Energieauflösung am Detektor mittels einer standardisierten Mangan-Probe (Mn-K?). o Grenzwert: Die Halbwertsbreite (FWHM) bei der Mn-K? Linie muss bei einer InputCount-Rate (ICR) von 10.000cps<=le 133eV betragen. - Elementanalyse (Richtigkeit): Quantitativ verifizierte Messung an einem zertifizierten Standard (z. B. Kupfer oder Poliertes Messing). Die Abweichung der gemessenen Elementkonzentrationen vom zertifizierten Soll-Wert darf maximal +-1% (absolut) für Hauptkomponenten (> 10 Massenanteil) betragen.4. Instandsetzung der Detektoren für rückgestreute Elektronen LABE & RIBE Das Gerät besitzt zusätzliche Detektoren, welche lediglich bei Bedarf mechanisch in den Strahlengang verfahren werd

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RICOH Deutschland GmbH; TA Triumph-Adler Deutschland GmbH 1 €442,678 Mar 2026
Physical Electronics GmbH 1 €337,020 Mar 2026
JEOL (Germany) GmbH 1 €228,000 Mar 2026

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