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Frankreich - Elektronische, elektromechanische und elektrotechnische Lieferungen - Schichtdickenmessgeraet fuer 200 mm und 300 mm Wafer

Original France - Fournitures électroniques, électromécaniques et électrotechniques - Fourniture d’un outil de mesure de couches minces compatible avec wafers de 200 mm et 300 mm

Offen Auftragsbekanntmachung

Eckdaten

Auftraggeber
CEA/GRENOBLE
Ort
Frankreich Rhône-Alpes
Verfahren
Verhandlungsverfahren Der Auftraggeber wählt Bewerber aus und verhandelt dann über die Angebote, bevor er entscheidet. Ganzer Eintrag Oberhalb des EU-Schwellenwerts Ein Auftrag, der groß genug ist, dass EU-weite Regeln gelten und er auf TED erscheinen muss. Ganzer Eintrag
CPV-Code Das EU-weite Vokabular für den Beschaffungsgegenstand: ein achtstelliger Code in jeder Bekanntmachung. Ganzer Eintrag
31700000 Elektronischer, elektromechanischer und elektrotechnischer Bedarf 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte
Originalsprache
Französisch
Veröffentlicht
Quelle
über TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU), geprüft vor 1 Monat
Bekanntmachungsnummer
368559-2026
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Zusammenfassung

Maschinell erstellte Zusammenfassung

Das Forschungsinstitut CEA-LETI in Grenoble, Frankreich, beschafft ein Schichtdickenmessgeraet, das mit 200 mm und 300 mm Wafern kompatibel und in einem Reinraum der Klasse 100 einsetzbar ist. Geraet muss spektroskopische Ellipsometrie und Reflectometrie kombinieren und praezise, reproduzierbare Messungen von Dicke und optischen Eigenschaften einzelner oder gestapelter Schichten liefern. Zweck ist die Forschung zu FD-SOI 10 nm und darueber hinaus, etwa SOI, High-k-Materialien, GaN, SiC und III-V. Der Vertrag umfasst eine feste Position fuer das Basisgeraet und eine optionale Position fuer ein OCD-Modul mit IT-Umgebung, dazu Wahlpositionen wie Schulungen, Transformator, Kuehler und Garantieverlaengerung. Kein Wert und keine Frist angegeben.

Beschreibung

Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un outil de mesure de couches minces compatible wafers 200 mm et 300 mm, utilisable en salle blanche classe 100. L’équipement devra intégrer des fonctions d’ellipsométrie et de réflectométrie spectroscopiques. Il devra assurer des mesures précises et reproductibles des épaisseurs et propriétés optiques de couches simples ou empilées. Les technologies ciblées incluent notamment SOI, matériaux high-k, GaN, SiC et III-V par exemple. Le marché envisagé comprend : - une tranche ferme correspondant à l’équipement de base, - une tranche optionnelle n°1 relative à la fourniture de OCD et l’environnement informatique (Module OCD). Le présent marché comporte les options à chiffrage facultatif suivantes : o OPT1 : Formation à la Maintenance 1er niveau o OPT2 : Formation à la Maintenance avancée o OPT3 : Fourniture d’un transformateur électrique o OPT4 : Fourniture d’un échangeur de chaleur / refroidisseurs o OPT5 : Extension de garantie d’une durée d’un an supplémentaire o OPT6 : Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).

Amtliche Quelle

Quelle: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Prüfen Sie alle Angaben stets in der amtlichen Bekanntmachung.

Zuletzt mit TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) abgeglichen vor 1 Monat

Zur amtlichen Bekanntmachung

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Vollständiges Auftraggeberprofil

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Unternehmen Zuschläge Vergebenes Volumen Letzter Zuschlag
RAVANAT CHAUDRONNERIE 1 k. A. Jul 2026
TOKYO ÉLECTRON EUROPE LIMITED 1 k. A. Jan 2026

Grundlage: 2 Vergaben mit verknüpftem Unternehmensprofil aus den letzten 5 Jahren.

Änderungsverlauf

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