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Frankreich - Elektronische, elektromechanische und elektrotechnische Lieferungen - 300-mm-Anlage für Metallabscheidung durch PVD

Original France - Fournitures électroniques, électromécaniques et électrotechniques - Équipement de 300 mm pour du dépôt métallique par de PVD

Offen Auftragsbekanntmachung

Eckdaten

Auftraggeber
CEA/GRENOBLE
Ort
Frankreich Rhône-Alpes
Verfahren
Verhandlungsverfahren Der Auftraggeber wählt Bewerber aus und verhandelt dann über die Angebote, bevor er entscheidet. Ganzer Eintrag Oberhalb des EU-Schwellenwerts Ein Auftrag, der groß genug ist, dass EU-weite Regeln gelten und er auf TED erscheinen muss. Ganzer Eintrag
CPV-Code Das EU-weite Vokabular für den Beschaffungsgegenstand: ein achtstelliger Code in jeder Bekanntmachung. Ganzer Eintrag
31700000 Elektronischer, elektromechanischer und elektrotechnischer Bedarf 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte
Originalsprache
Französisch
Veröffentlicht
Quelle
über TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU), geprüft vor 1 Monat
Bekanntmachungsnummer
252681-2026
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Zusammenfassung

Maschinell erstellte Zusammenfassung

Die französische Forschungseinrichtung CEA-LETI beabsichtigt, eine 300-mm-Anlage zur Metallabscheidung durch physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) zu kaufen, um ihre Forschung zu FD-SOI-Technologien ab 10 nm zu unterstuetzen. Die Anlage muss ueber mehrere Kammern mit mindestens 5 Abscheidungskammern, eine Vakuum-Transferplattform, eine eigene Oxidationskammer, eine Vorreinigungskammer und ein Entgasungsmodul verfuegen, mit Ladeport fuer mindestens 3 FOUPs. Der Vertrag enthaelt eine verpflichtende Option zur Garantieverlaengerung um ein Jahr sowie fakultative Optionen wie Waermetauscher, einen Leistungstransformator und Wartungsschulungen. Kein geschaetzter Wert, keine Frist und keine Verfahrensangaben sind in der Bekanntmachung enthalten.

Beschreibung

Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 300 mm pour du dépôt métallique par de PVD. L’équipement sera multi-chambres et devra inclure au moins 5 chambres de dépôt, une plateforme de transfert sous vide, une chambre d’oxydation dédiée, une chambre de pré-nettoyage et un module de dégazage. Le port de chargement devra permettre d’accueillir au moins 3 FOUPs Le marché envisagé comprend les options suivantes : - Option obligatoire : OPT1 : Extension de garantie 1 an supplémentaire (§11.1 du cahier des charges) - Options facultatives : OPT2 : Échangeurs de chaleur / Refroidisseurs (§3.2.6 du cahier des charges) OPT3 : Transformateur d'alimentation électrique (§4.1.4 du cahier des charges) OPT4 : Formation de maintenance de 1er niveau (§9 du cahier des charges) OPT5 : Formation de maintenance de niveau avancé (§9 du cahier des charges)

Amtliche Quelle

Quelle: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Prüfen Sie alle Angaben stets in der amtlichen Bekanntmachung.

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Zuletzt mit TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) abgeglichen vor 1 Monat

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Vollständiges Auftraggeberprofil

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Unternehmen Zuschläge Vergebenes Volumen Letzter Zuschlag
RAVANAT CHAUDRONNERIE 1 k. A. Jul 2026
TOKYO ÉLECTRON EUROPE LIMITED 1 k. A. Jan 2026

Grundlage: 2 Vergaben mit verknüpftem Unternehmensprofil aus den letzten 5 Jahren.

Änderungsverlauf

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