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Aperlena

Deutschland - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) - Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

Offen Auftragsbekanntmachung

Eckdaten

Geschätzter Wert
1.024.000 €
Ort
Deutschland Arnsberg
Verfahren
Wettbewerblicher Dialog Ein Verfahren für komplexe Vorhaben, bei dem die Lösung selbst mit den Bewerbern erarbeitet wird. Ganzer Eintrag Oberhalb des EU-Schwellenwerts Ein Auftrag, der groß genug ist, dass EU-weite Regeln gelten und er auf TED erscheinen muss. Ganzer Eintrag
CPV-Code Das EU-weite Vokabular für den Beschaffungsgegenstand: ein achtstelliger Code in jeder Bekanntmachung. Ganzer Eintrag
38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Originalsprache
Deutsch
Veröffentlicht
Quelle
über TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU), geprüft vor 1 Monat
Bekanntmachungsnummer
562332-2026
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Das Aperlena-Urteil

Offenes Rennen

Kein Anbieter dominiert: 16 verschiedene Unternehmen haben die letzten 16 vergleichbaren Aufträge dieses Auftraggebers in 5 Jahren gewonnen. Ein wirklich offenes Rennen.

Basierend auf 16 vergleichbaren Zuschlägen dieses Auftraggebers in dieser Branche über 5 Jahre. Jedes Urteil wird vor dem Ergebnis festgehalten und an der Zuschlagsbekanntmachung gemessen. Wie wir uns selbst bewerten.

Zusammenfassung

Maschinell erstellte Zusammenfassung

Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt die Beschaffung einer DRIE-Ätzanlage für das Forschungslabor Mikroelektronik in Bochum. Die Anlage soll für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden, vorrangig für das tiefe anisotrope Siliciumätzen im Bereich der siliciumbasierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses, dem sogenannten Bosch-Prozess. Darüber hinaus soll sie der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.

Beschreibung

Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.

Amtliche Quelle

Quelle: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Prüfen Sie alle Angaben stets in der amtlichen Bekanntmachung.

Zuletzt mit TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) abgeglichen vor 1 Monat

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Vollständiges Auftraggeberprofil

11 offene Ausschreibungen derzeit

Wer die Aufträge dieses Auftraggebers in diesem Sektor gewöhnlich gewinnt

Unternehmen Zuschläge Vergebenes Volumen Letzter Zuschlag
BMG LABTECH GmbH 1 k. A. Sep 2026
Carl Zeiss Microscopy Deutschland GmbH 1 k. A. Sep 2026
CreaTec Fischer & Co. GmbH 1 k. A. Aug 2026
Eppendorf Vertrieb Deutschland GmbH 1 k. A. Sep 2026
Fisher Scientific 1 k. A. Sep 2026

Grundlage: 16 Vergaben mit verknüpftem Unternehmensprofil aus den letzten 5 Jahren.

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Marktkontext

Ø offene Ausschreibung · Labor- & Präzisionsgeräte
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Vergabehistorie auf Aperlena
96 erfasste Bekanntmachungen · 67 vergeben
4.796.924 € vergebenes Volumen

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