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Allemagne - Équipements de laboratoire, optiques et de précision (sauf verrerie) - Système de gravure profonde du silicium (DRIE) pour MEMS

Original Deutschland - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) - Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

Ouvert Avis de marché

Informations clés

Montant estimé
1 024 000 €
Acheteur public
Ruhr-Universität Bochum
Lieu
Allemagne Arnsberg
Procédure
Dialogue compétitif Une procédure pour projets complexes où la solution elle-même est élaborée avec les candidats. Entrée complète Au-dessus du seuil européen Un marché assez important pour que les règles européennes s'appliquent et qu'il paraisse sur TED. Entrée complète
Code CPV Le vocabulaire commun de l'UE pour ce qui est acheté : un code à huit chiffres présent dans chaque avis. Entrée complète
38000000 Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes)
Langue d'origine
Allemand
Publié
Source
via TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU), vérifié il y a 1 mois
Numéro de l'avis
562332-2026
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Le Verdict Aperlena

Course ouverte

Aucun fournisseur ne domine : 16 entreprises différentes ont remporté les 16 derniers marchés comparables de cet acheteur en 5 ans. Une course réellement ouverte.

Sur la base de 16 attributions comparables de cet acheteur dans ce secteur sur 5 ans. Chaque verdict est consigné avant le résultat et confronté à l'avis d'attribution. Comment nous nous notons.

Résumé

Résumé généré automatiquement

L'Université Ruhr de Bochum envisage l'acquisition d'un système de gravure DRIE destiné au laboratoire de recherche en microélectronique de Bochum, en Allemagne. Le système servira pour des substrats de wafers jusqu'à 200 mm de diamètre, principalement pour la gravure profonde anisotrope du silicium dans le domaine des micro-systèmes électromécaniques à base de silicium (MEMS), selon un procédé de gravure cyclique connu sous le nom de procédé Bosch. Il servira aussi à la recherche de nouveaux concepts de gravure utilisant des gaz moins nuisibles pour le climat. Aucune valeur estimée, date limite ni modalité de procédure ne figurent dans la description disponible.

Description

Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.

Source officielle

Source : TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Vérifiez toujours les détails dans l'avis officiel.

Dernière vérification auprès de TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) il y a 1 mois

Plus de cet acheteur

Profil complet de l'acheteur

11 marchés ouverts actuellement

Qui remporte habituellement les marchés de cet acheteur dans ce secteur

Entreprise Attributions Montant total attribué Dernière attribution
BMG LABTECH GmbH 1 n/d sept. 2026
Carl Zeiss Microscopy Deutschland GmbH 1 n/d sept. 2026
CreaTec Fischer & Co. GmbH 1 n/d août 2026
Eppendorf Vertrieb Deutschland GmbH 1 n/d sept. 2026
Fisher Scientific 1 n/d sept. 2026

Sur la base de 16 attributions avec un profil d'entreprise associé au cours des 5 dernières années.

Marchés similaires

Contexte de marché

Appel ouvert moyen · Équipements de laboratoire & de précision
5 472 134 €
1 986 ouverts en Europe actuellement 81% en dessous de la moyenne du secteur
Historique de l'acheteur sur Aperlena
96 avis suivis · 67 attribués
4 796 924 € de contrats attribués

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