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Alemania - Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto vidrio) - Sistema de grabado profundo de silicio (DRIE) para MEMS

Original Deutschland - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) - Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

Abierta Anuncio de licitación

Datos clave

Importe estimado
1.024.000 €
Órgano de contratación
Ruhr-Universität Bochum
Dónde
Alemania Arnsberg
Procedimiento
Diálogo competitivo Un procedimiento para proyectos complejos en el que la solución se define con los candidatos. Entrada completa Por encima del umbral europeo Un contrato lo bastante grande para que se apliquen las normas europeas y deba publicarse en TED. Entrada completa
Código CPV El vocabulario común de la UE para lo que se compra: un código de ocho cifras que lleva todo anuncio. Entrada completa
38000000 Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)
Idioma original
Alemán
Publicada
Fuente
vía TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU), verificado hace 1 mes
Número de anuncio
562332-2026
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Resumen

Resumen generado automáticamente

La Universidad Ruhr de Bochum tiene previsto adquirir un sistema de grabado DRIE para su laboratorio de investigación en microelectrónica de Bochum, Alemania. El sistema se utilizará con sustratos de obleas de hasta 200 mm de diámetro, principalmente para el grabado profundo anisótropo de silicio en el ámbito de los microsistemas electromecánicos de base silicio (MEMS), mediante un proceso de grabado cíclico conocido como proceso Bosch. También servirá para investigar nuevos conceptos de grabado con gases menos perjudiciales para el clima.

Descripción

Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.

Fuente oficial

Fuente: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Verifica siempre los detalles en el anuncio oficial.

Última verificación con TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) hace 1 mes

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Perfil completo del comprador

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97 anuncios registrados · 67 adjudicados
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