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TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) geprüft vor 1 Woche Auftragsbekanntmachung

Deutschland - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke - Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

Geschlossen Deutschland Brandenburg Industriemaschinen

Auftraggeber IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

Eckdaten

Veröffentlicht
Verfahren
Verhandlungsverfahren
  1. Veröffentlicht
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Zusammenfassung

Maschinell erstellte Zusammenfassung

Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram-CVD-Systems (Chemical Vapor Deposition) des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Umfasst sind Lieferung, Integration, Inbetriebnahme, Tests und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwarekomponenten. Dies beinhaltet die Anpassung des Gasverteilungssystems zum kontrollierten Umschalten der Prozessgase WF6 und SiH4 zwischen Abgasleitung und Prozesskammer für einen gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozess sowie zusätzliche Hardware für Depositionsdrücke bis 300 Torr. Eine Vor-Ort-Besichtigung der Anlage wird empfohlen.

Beschreibung

Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem. Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram-CVD-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierfür sind die Lieferung, Integration und Inbetriebnahme der erforderlichen Hard- und Softwarekomponenten sowie die Durchführung aller notwendigen Anpassungs-, Test- und Qualifizierungsmaßnahmen erforderlich. Der Leistungsumfang umfasst insbesondere die Modifikation des Gasverteilungssystems zur Realisierung eines kontrollierten Umschaltens der Prozessgase WF6 und SiH4 zwischen Abgasleitung und Prozesskammer zur Unterstützung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses für High Aspect Ratio Gap-Fill Anwendungen. Darüber hinaus ist zusätzliche Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr zu liefern und in das bestehende System zu integrieren. Die angebotene Lösung muss mit der vorhandenen Anlagenkonfiguration kompatibel sein und die technische Funktionalität einer WxZ Sprint Konfiguration gewährleisten. Zur Ermittlung des konkreten Anpassungsbedarfs wird eine Vor-Ort-Besichtigung der Anlage empfohlen.

Amtliche Quelle

Quelle: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Prüfen Sie alle Angaben stets in der amtlichen Bekanntmachung.

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Zuletzt mit TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) abgeglichen vor 1 Woche

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

Deutschland

Bekanntmachungen im Register
48
Zuschläge
16
insgesamt vergeben
1,5 Mio. €

Wer seine Aufträge gewinnt

Mäßig konzentriert
verschiedene Unternehmen erhielten Zuschläge
13
der Zuschläge gingen an die drei häufigsten Gewinner
38%
seiner Ausschreibungen nennen einen geschätzten Wert
0%

Auf Grundlage von 16 Zuschlägen mit benanntem Gewinner aus den letzten 3 Jahren. Gezählt nach Zuschlägen, nicht nach Wert, weil Los- und Rahmenvertragsbeträge nicht vergleichbar sind. Konzentriert heißt: Die drei häufigsten Gewinner erhielten 65% der Zuschläge oder mehr; viele Anbieter: unter 35% bei mindestens zehn verschiedenen Gewinnern.

Wettbewerb

Angebote je Los im Durchschnitt (offene und nicht offene Verfahren)
1,4
dieser Lose erhielten ein einziges Angebot
67%
der Zuschläge gingen an Unternehmen mit Sitz in einem anderen Land
13%

So, wie die amtlichen Bekanntmachungen sie angeben, über die letzten 3 Jahre. Angebote je Los zählen nur offene und nicht offene Verfahren: Im Verhandlungsverfahren oder bei einer Direktvergabe ist ein einziges Angebot das Verfahren selbst. Das Land ist das, das die Bekanntmachung für den Gewinner nennt.

Vergibt am häufigsten an

  1. Keysight Technologies Deutschland GmbH 2 Zuschläge 1,3 Mio. €
  2. ATV Systems GmbH 2 Zuschläge 189.900 €
  3. ASM Europe B.V. 2 Zuschläge

3 offene Ausschreibungen derzeit

Marktkontext

jetzt offen im Bereich Industriemaschinen
1.936
Median der offenen Bekanntmachungen
150.000 €

Wer in diesem Markt gewinnt

Viele Anbieter

Deutschland · Industriemaschinen

verschiedene Unternehmen erhielten hier Zuschläge
574
der Zuschläge gingen an die drei häufigsten Gewinner
4%
Auftraggeber vergaben hier Aufträge
303

Auf Grundlage von 714 Zuschlägen mit benanntem Gewinner aus den letzten 3 Jahren. Gezählt nach Zuschlägen, nicht nach Wert, weil Los- und Rahmenvertragsbeträge nicht vergleichbar sind. Konzentriert heißt: Die drei häufigsten Gewinner erhielten 65% der Zuschläge oder mehr; viele Anbieter: unter 35% bei mindestens zehn verschiedenen Gewinnern.

Wettbewerb

Angebote je Los im Durchschnitt (offene und nicht offene Verfahren)
2,3
dieser Lose erhielten ein einziges Angebot
41%
der Zuschläge gingen an Unternehmen mit Sitz in einem anderen Land
16%
der Angebote kamen aus einem anderen Land
16%

So, wie die amtlichen Bekanntmachungen sie angeben, über die letzten 3 Jahre. Angebote je Los zählen nur offene und nicht offene Verfahren: Im Verhandlungsverfahren oder bei einer Direktvergabe ist ein einziges Angebot das Verfahren selbst. Das Land ist das, das die Bekanntmachung für den Gewinner nennt.

Änderungsverlauf

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  1. Leistung und Kriterien
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