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Finlandia - Attrezzature da laboratorio, ottiche e di precisione (escluso occhiali) - Rifilatrice a fascio di ioni

Originale Finland - Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) - Ion beam trimmer

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VTT Technical Research Centre of Finland Ltd ha aggiudicato un contratto per uno strumento di rifilatura a fascio di particelle per wafer da 200 mm, destinato al trattamento front-end dei semiconduttori nella camera bianca VTT Micronova. Il fascio di particelle può essere un fascio di ioni o un fascio di cluster gassoso, con una larghezza a metà altezza compresa tra 3 e 15 mm. Lo strumento doveva essere compatibile con l'installazione in una camera bianca classificata ISO 4. Il contratto è stato aggiudicato a Sales Department per 1 256 300 EUR. La data di aggiudicazione era il 02.09.2026. Ulteriori dettagli erano descritti nei documenti dell'invito a presentare offerta.

Descrizione

The object of the tender was 200 mm wafer particle beam trimming tool for VTT Micronova cleanroom semiconductor front end processing. The particle beam may be an ion beam, or a gas cluster beam, with a full width at half maximum within 3-15 mm. The tool had to be compatible with installation in an ISO 4 classified cleanroom. The object of the tender process was described in more detail in the invitation to tender documents.

Fonte ufficiale

Fonte: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Verifica sempre i dettagli nell'avviso ufficiale.

Ultima verifica su TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) 2 settimane fa

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