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Deutschland - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke - Upgrade BEOL etching system (IPMS-CNT05.2) - PR874835-2480-P

Awarded Contract award

Key facts

Winner
Tokyo Electron Europe Limited
Buyer
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Where
Germany Dresden
Procedure
Negotiated procedure The buyer selects candidates, then negotiates the offers before choosing. Full entry Above the EU threshold A contract large enough that EU-wide rules apply and it must be published on TED. Full entry
CPV code The EU's common vocabulary for what is being bought: an eight-digit code every notice carries. Full entry
42990000 Miscellaneous special-purpose machinery
Original language
German
Source
via TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU), verified 1 month ago
Notice number
374703-2026
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  2. Awarded pending

Description

1 Stück Upgrade BEOL etching system (IPMS-CNT05.2) Eine Prozesskammer für Plasmaätzprozesse auf Wafern mit einem Durchmesser von 300 mm, die auf einem bestehenden Cluster-Tool "Tokyo Elecron TACTRAS" des Fraunhofer IPMS CNT aufgerüstet werden soll. Optionale Leistungspositionen: 6.12 Beschreibung der Prozesskammer esc Temperatur über Rezepturschritt einstellbar ja / nein; bitte angeben 6.24 Prozesskonfiguration, optional Oxidätzen mit Resistmaske (wie für TSV-Mid-Anwendungen) ja / nein; bitte angeben 6.25 Prozesskonfiguration, optional ARC-Ätzen ja / nein; bitte angeben 7.19 Prozessspezifikationen / optionale Prozesse Starterezept für SiO2-Ätzen mit Fotolackmaske auf 500 nm Top CD, 600 nm Fotolack bereitstellen ja / nein; bitte angeben 7.20 Prozessspezifikationen / optionale Prozesse Starterezept für ARC-Ätzen mit Fotolackmaske auf 500 nm Top CD, 600 nm Fotolack bereitstellen ja / nein; bitte angeben 8.10 Gas-Tabelle Hauptgase (Option) SiF4 ja / nein; bitte empfohlenen Durchflussbereich angeben 8.11 Gas-Tabelle Hauptgase (Option) Cl2 ja / nein; bitte empfohlenen Durchflussbereich angeben 8.15 Gas-Tabelle Seitengase (Option) CF4 ja / nein; bitte empfohlenen Durchflussbereich angeben 8.16 Gas-Tabelle Seitengase (Option) SiCl4 ja / nein; bitte empfohlenen Durchflussbereich angeben 8.17 Gas-Tabelle Nebengase (Option) Ar ja / nein; bitte empfohlenen Durchflussbereich angeben 8.18 Gas-Tabelle Nebengase (Option) NF3 ja / nein; bitte empfohlenen Durchflussbereich angeben 8.19 Gas-Tabelle Nebengase (Option) C4F8 ja / nein; bitte empfohlenen Durchflussbereich angeben 8.20 Gase auf der Gassentischseite (Option) CH2F2 ja / nein; bitte empfohlenen Durchflussbereich angeben 15.1 optional angebotene Funktionen Erweiterte Gaskonfiguration wie unter "Gase auf der Gassentischseite (Option)" und "Gase auf der Gassentischseite (Option)" beschrieben ja/nein 15.2 optional angebotene Funktionen Hochtemperatur-Kit (Teileliste + Preis) ja/nein 15.3 optional angebotene Funktionen empfohlenes Ersatzteil-Kit ja/nein 15.4 optional angebotene Funktionen HF-Kalibrierungs-Kit für 27-MHz-Quellengenerator und 13-MHz-Bias-Generator (außer Scheinlast) ja/nein 15.5 optional angebotene Funktionen Vakuumpumpen (Vorvakuumpumpe) für Prozesskammer, sofern nicht generell im System enthalten ja/nein

Official source

Source: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Always verify details on the official notice.

Last verified against TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) 1 month ago

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