Skip to content
Aperlena

Germany - Various special-purpose machines and equipment - IMS Chips - Award of a coating and development system for wafers

Original Deutschland - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke - IMS Chips - Vergabe einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer

Open Contract notice

Key facts

Where
Germany Stuttgart
Procedure
Negotiated procedure The buyer selects candidates, then negotiates the offers before choosing. Full entry Above the EU threshold A contract large enough that EU-wide rules apply and it must be published on TED. Full entry
CPV code The EU's common vocabulary for what is being bought: an eight-digit code every notice carries. Full entry
42990000 Miscellaneous special-purpose machinery
Original language
German
Published
Source
via TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU), verified 1 month ago
Notice number
367674-2026
Watch this tender

We email you if the deadline moves or a correction is published. Free. Log in

Summary

Machine-generated summary

The Institute for Microelectronics Stuttgart (IMS), a non-profit foundation and member of the Innovation Alliance Baden-Wuerttemberg, is procuring a coating and development system for processing 150mm and 200mm wafers with changing photoresists for iLine and E-Beam lithography. The equipment will be used to develop new processes in publicly funded research and industry-financed development projects and to realise small and pilot series production. A two-year full maintenance contract with an uptime guarantee may be offered as an option. The maximum delivery time is 18 months after contract award. Suppliers of semiconductor process equipment may bid under the applicable public procurement procedure.

Description

Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Belackungs-/Entwicklungsanlage zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern mit wechseln-den Fotolacken für die iLine- und E-Beam-Lithografie. Optional ist ein Vollwartungsvertrag mit Uptime-Garantie anzubieten. Die maximale Lieferzeit beträgt 18 Monate nach Zuschlag. Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (nachfolgend auch "IMS") ist eine gemeinnützige Stiftung des bürgerlichen Rechts und Teil der Innovationsallianz Baden-Württemberg. Das IMS betreibt wirtschaftsnahe Forschung und Entwicklung auf den Gebieten Silizium-Technologie, Anwenderspezifische Schaltkreise (ASIC), Nanostruk-turierung, GaN-Leistungselektronik, Photonik, großflächige MEMS und Bildsensorik und engagiert sich in der beruflichen Weiterbildung. Zu den Aufgaben des IMS gehört unter anderem die Bereitstellung von Infrastruktur, Beratungs-, Forschungs- und Entwicklungsdienstleistungen in diesen Bereichen für die Klein- und Mittelständische Industrie. Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Belackungs-/Entwicklungsanlage zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern mit wechseln-den Fotolacken für die iLine- und E-Beam-Lithografie. Optional ist ein zweijähriger Vollwartungsvertrag mit Uptime-Garantie anzubieten. Die maximale Lieferzeit beträgt 18 Monate nach Zuschlag. Ziel ist es, mit dieser Belackungs-/Entwicklungsanlage sowohl neuartige Prozesse und Prozessfolgen innerhalb öffentlich geförderter Forschungsprojekte und Industrie-finanzierter Entwicklungsprojekte zu entwickeln als auch Klein- und Pilotserienfertigungen zu realisieren.

Official source

Source: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Always verify details on the official notice.

Last verified against TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) 1 month ago

More from this buyer

Full buyer profile

2 open tenders right now

This buyer has no award history in this sector yet. Usual winners, Industrial machinery - Germany

Company Wins Total awarded Last win
DMG MORI Technium Europe GmbH 9 €824,275 Sep 2026
EV Group E. Thallner GmbH 5 n/a Aug 2026
E.W. NEU GmbH 4 €2.9M Aug 2026
SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH 4 €145,134 May 2026
KLA Corporation 4 n/a Aug 2026

Based on 454 awards with a linked company profile over the last 2 years.

Change history

Every time an official source republished this notice with different content. We watch every source we index, including regional copies of the same notice.

  1. Read before bidding
    • Scope and criteria: The description was expanded. Re-read it before you bid.

Follow this tender and we email you the moment it changes. Create account

Similar tenders

Market context

Avg. open tender · Industrial machinery
€1,939,156
2,354 open across Europe right now
Buyer track record on Aperlena
2 notices tracked · 0 awarded

Never miss a tender like this

38 new notices in Industrial machinery in Germany in the last 7 days. Get an email when new ones appear. Free.

Set up my alert

Keyboard shortcuts

Read a list without reaching for the mouse. The shortcuts stay quiet while you type in a field.

j
Next result
k
Previous result
Enter
Open the result
n
Next page
p
Previous page
c
Compare this result
s
Shortlist this result
/
Search from any page
Ctrl K
Search from any page
?
Show these shortcuts
Esc
Close