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Irland - Lieferung einer Suite von Plasmaätz- und Plasmaabscheidungsanlagen, 4 Lose (LA3215C-UCC-CFT)

Original Ireland - Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) - LA3215C-UCC-CFT for the Supply of a Suite of Plasma Etcher and Plasma Deposition Tools, 4 Lots

Geschlossen Auftragsbekanntmachung

Eckdaten

Geschlossen
Geschätzter Wert
3.300.000 €
Auftraggeber
Education Procurement Service (EPS)
Ort
Irland Southern
Verfahren
Offenes Verfahren Jeder darf in einem Schritt ein Angebot abgeben, ohne Vorauswahl. Ganzer Eintrag Oberhalb des EU-Schwellenwerts Ein Auftrag, der groß genug ist, dass EU-weite Regeln gelten und er auf TED erscheinen muss. Ganzer Eintrag
CPV-Code Das EU-weite Vokabular für den Beschaffungsgegenstand: ein achtstelliger Code in jeder Bekanntmachung. Ganzer Eintrag
38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Originalsprache
Englisch
Quelle
über TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU), geprüft vor 1 Monat
Bekanntmachungsnummer
415187-2026
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Die Angebotsfrist ist vorbei. Ein Zuschlag oder eine Berichtigung zu dieser Bekanntmachung: eine E-Mail, wenn das Register es sieht. Anmelden

  1. Veröffentlicht
  2. Frist 30 Tage offen
  3. Vergeben ausstehend

Zusammenfassung

Maschinell erstellte Zusammenfassung

Das University College Cork sucht Angebote für die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Suite von Plasmaätz- und Plasmaabscheidungsanlagen für das Tyndall National Institute. Die Ausschreibung ist in vier Lose unterteilt: Plasmaätzer für Silizium-Dielektrika, Plasmaätzer für Metalle und Piezoelektrika, langsamer Atomic-Layer-Ätzer und PECVD-Abscheidungsanlage. Die Geräte unterstützen die Herstellung von Halbleiterbauelementen, darunter Silizium-Mikroelektronik und MEMS, für 100-mm- und 200-mm-Wafer. Anbieter hochpräziser und zuverlässiger Spitzentechnologien werden zur Angebotsabgabe ermutigt.

Beschreibung

Tenders are sought for the supply delivery, installation and commissioning of a suite of tools in 4 Lots for silicon-based and dielectric materials for University College Cork. The new plasma tools will enhance the capabilities at the Tyndall National Institute for the fabrication of semiconductor devices, especially silicon microelectronics and silicon MEMS, but also other materials such as germanium and silicon carbide. We invite proposals for the following lots; Lot 1 Plasma Etcher Silicon Dielectrics, advanced plasma etching system capable of etching for polysilicon poly-Si silicon dioxide SiO2 silicon nitride SiN thin films using medium high-density plasma processes. Lot 2 Plasma Etcher Metals Piezoelectrics, advanced plasma etching system capable of etching for aluminium Al and alloys molybdenum Mo aluminium scandium nitride AlScN thin films using medium high-density plasma processes. Lot 3 Plasma Etcher Slow and Controllable Rate Atomic Layer Etch for Silicon Dielectrics, advanced plasma etching system capable of both conventional high-rate etching and slow and controllable rate atomic layer etching for silicon Si silicon dioxide SiO2 silicon nitride SiN thin films using medium high-density plasma processes. Lot 4 Plasma Deposition PECVD, advanced plasma enhanced chemical vapour deposition system capable of depositing dielectric SiO2, SiN and amorphous a-Si thin films on semiconductor substrates. This equipment will be essential for etching and depositing a range of materials used in the fabrication of silicon microelectronics, silicon photonics and silicon MEMS devices. The ideal tools will offer precision, reliability, and efficiency to meet the requirements for etching and deposition on both 100 mm and 200 mm diameter wafers. Tenderers with cutting-edge solutions that can achieve these high standards are encouraged to submit their proposals for this vital component in our technological advancement.

Amtliche Quelle

Quelle: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Prüfen Sie alle Angaben stets in der amtlichen Bekanntmachung.

Zuletzt mit TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) abgeglichen vor 1 Monat

Zur amtlichen Bekanntmachung

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Änderungsverlauf

Jedes Mal, wenn eine offizielle Quelle diese Bekanntmachung mit geändertem Inhalt erneut veröffentlicht hat. Wir beobachten alle Quellen, die wir indexieren, auch regionale Kopien derselben Bekanntmachung.

  1. Sofort handeln
    • Status: Jetzt als Geschlossen geführt
    • Geschätzter Wert: Festgelegt auf 3.300.000 €
    • Angebotsfrist: 1 Tag FRÜHER: jetzt 17. Juli 2026, 00:00
    • Geschätzter Wert: Festgelegt auf 3.300.000 €

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