Zum Inhalt springen
Aperlena
Sprache:

Deutschland - Elektromechanische Ausrüstung - Reaktives Ionenätzen

Vergeben Vergabebekanntmachung Keine Frist veröffentlicht
Ausschreibung beobachten

Die Angebotsfrist ist vorbei. Ein Zuschlag oder eine Berichtigung zu dieser Bekanntmachung: eine E-Mail, wenn das Register es sieht. Anmelden

  1. Vergeben
  2. Veröffentlicht

Zusammenfassung

Maschinell erstellte Zusammenfassung

Die Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg, vertreten für den Freistaat Bayern, hat einen Vertrag über ein Reaktives Ionenätzen-System vergeben. Die Anlage dient der Herstellung freistehender Wellenleiter mittels Faraday Cage Etching und unterstuetzt die p-i-n Dioden Integration, nanophotonische Wellenleiter mit aktiver Helium-Rückseitenkühlung sowie schonende Soft Etch Prozesse, die die Kristallqualität für Farbzentren erhalten. Sie benoetigt eine Gasbox mit mindestens 5 Leitungen für Fluor- und Sauerstoff-Prozesse, sowohl für Solid Immersion Lenses in Diamant als auch für SiC, sowie ein Open Load Design fuer kleine Bruchstück-Proben auf Carrier-Wafern. Den Vertrag erhielt die Oxford Instruments GmbH am 18. September 2026.

Beschreibung

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichtig ist die schonende Entfernung von Oberflächenschichten ("Soft Etch"), ohne neue Defekte tief in den Kristall einzutragen. Letztlich werden für die Strukturierung der Solid Immersion Lenses (SILs) in Diamant ein reines Sauerstoff-Plasma benötigt, während SiC eine Fluor-Chemie (SF₆/CHF₃) erfordert. Entsprechend notwendig ist eine Gasbox mit mindestens 5 Leitungen für Fluor- und Sauerstoff-Prozesse , um beide Materialklassen ohne Hardware-Umbau bearbeiten zu können. Ein "Open Load"-Design ist zudem für die geplante Arbeitsweise (Bearbeitung kleiner Bruchstück-Proben auf Carrier-Wafern) die technisch sinnvollste Lösung, da es im Gegensatz zu Load-Lock-Systemen keine aufwendige Anpassung von Roboter-Handlingsystemen an irreguläre Probengeometrien erfordert.

Amtliche Quelle

Quelle: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Prüfen Sie alle Angaben stets in der amtlichen Bekanntmachung.

Zuletzt mit TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) abgeglichen vor 55 Minuten

Zur amtlichen Bekanntmachung

Mehr von diesem Auftraggeber

Vollständiges Auftraggeberprofil

Jüngste Vergaben

Ähnliche Ausschreibungen

2

Tage übrig

USV Anlagen für die FA

Deutschland Elektrische Maschinen Freistaat Thüringen vertreten durch das Thüringer Landesamt...

Marktkontext

Ø offene Ausschreibung · Elektrische Maschinen
54.757.437 €
2.986 aktuell offen in Europa
Vergabehistorie auf Aperlena
11 erfasste Bekanntmachungen · 5 vergeben
0 € vergebenes Volumen

Verpassen Sie keine Ausschreibung wie diese

37 neue Bekanntmachungen für Elektrische Maschinen in Deutschland in den letzten 7 Tagen. Erhalten Sie eine E-Mail, wenn neue erscheinen. Kostenlos.

Benachrichtigung einrichten
Quelle

Tastaturkürzel

Eine Liste lesen, ohne zur Maus zu greifen. In einem Eingabefeld bleiben die Kürzel stumm.

j
Nächstes Ergebnis
k
Vorheriges Ergebnis
Enter
Ergebnis öffnen
n
Nächste Seite
p
Vorherige Seite
c
Dieses Ergebnis vergleichen
s
Dieses Ergebnis auf die Merkliste setzen
/
Zum Suchfeld springen
?
Diese Kürzel anzeigen
Esc
Schließen