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Germania - Apparecchiature elettromeccaniche - Incisione ionica reattiva

Originale Deutschland - Elektromechanische Ausrüstung - Reaktives Ionenätzen

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L'Università Friedrich-Alexander di Erlangen-Norimberga, per conto dello Stato Libero della Baviera, ha aggiudicato un contratto per un sistema di ionizzazione reattiva (reattiva al plasma). L'apparecchiatura serve a produrre guide d'onda autoportanti tramite Faraday Cage Etching e supporta l'integrazione di diodi p-i-n, le guide d'onda nanofotoniche con raffreddamento attivo a elio dal retro e attacchi morbidi che preservano la qualità cristallina per i centri di colore. Richiede un box gas con almeno 5 linee per processi al fluoro e all'ossigeno, per lenti a immersione solida in diamante e carburo di silicio, oltre a un design open load per campioni di piccole dimensioni su wafer portanti. Il contratto è stato aggiudicato a Oxford Instruments GmbH il 18 settembre 2026.

Descrizione

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichtig ist die schonende Entfernung von Oberflächenschichten ("Soft Etch"), ohne neue Defekte tief in den Kristall einzutragen. Letztlich werden für die Strukturierung der Solid Immersion Lenses (SILs) in Diamant ein reines Sauerstoff-Plasma benötigt, während SiC eine Fluor-Chemie (SF₆/CHF₃) erfordert. Entsprechend notwendig ist eine Gasbox mit mindestens 5 Leitungen für Fluor- und Sauerstoff-Prozesse , um beide Materialklassen ohne Hardware-Umbau bearbeiten zu können. Ein "Open Load"-Design ist zudem für die geplante Arbeitsweise (Bearbeitung kleiner Bruchstück-Proben auf Carrier-Wafern) die technisch sinnvollste Lösung, da es im Gegensatz zu Load-Lock-Systemen keine aufwendige Anpassung von Roboter-Handlingsystemen an irreguläre Probengeometrien erfordert.

Fonte ufficiale

Fonte: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

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Ultima verifica su TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) 4 ore fa

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