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Deutschland - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke - Remote Plasma PVD Chamber (IPMS-CNT04.2) - PR917294-2480-P

Attribué Avis d'attribution

Informations clés

Attributaire
Polyteknik AS
Acheteur public
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Lieu
Allemagne Dresden
Procédure
Procédure négociée L'acheteur sélectionne des candidats, puis négocie les offres avant de choisir. Entrée complète Au-dessus du seuil européen Un marché assez important pour que les règles européennes s'appliquent et qu'il paraisse sur TED. Entrée complète
Code CPV Le vocabulaire commun de l'UE pour ce qui est acheté : un code à huit chiffres présent dans chaque avis. Entrée complète
42990000 Machines diverses à usage spécifique
Langue d'origine
Allemand
Source
via TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU), vérifié il y a 1 mois
Numéro de l'avis
451047-2026
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  1. Publié
  2. Attribué en attente

Description

Remote Plasma PVD Chamber (IPMS-CNT04.2) 1 Stück Remote Plasma PVD Chamber Eine Prozesskammer als Ausrüstungserweiterung zur Abscheidung metallischer und nichtmetallischer Dünnschichten mittels PVD-Verfahren (Sputtering) auf Wafern mit einem Durchmesser von 300 mm. Die Sputterkammer als Upgrade des bestehenden Polyteknik Flextura 300 Depositionsclusters muss mit dem bestehenden Mainframe "Flextura 300" und den bereits vorhandenen Kammern "Confocal Sputter Module", "Degas Module", "Cooling Module" und "MBE Module" kompatibel sein. Optionale Leistungspositionen: 3.1.11 Plasma-Fernkammer - allgemein Plasma-Emissions-Monitoring (PEM) mit Rückkopplungssteuerung bitte Typ und Genauigkeit angeben 3.1.12 Plasma-Fernkammer - allgemein Restgasanalysator (RGA) Massenspektrometer Lieferoption 3.1.18 Plasma-Fernkammer - allgemein Quarzkristall-Mikrowaage zur Bestimmung der Depositionsrate, abnehmbar/abdeckbar ohne Kammeröffnung (z. B. Shutter oder versenkbar) Lieferoption; bitte Anzahl der QCMs, Art des Abdeckmechanismus (z. B. Shutter oder einziehbar); bitte Anzahl der QCMs und Art des Abdeckmechanismus angeben 3.2.3 Remote-Plasmakammer - Gasleitungen zusätzlicher Gaseinlass für vorgemischte Flaschen mit Standardflansch Lieferoption 3.4.6 Remote-Plasmakammer - Targets vorinstallierte Targetmaterialien und Reinheit: Zr (4N), Nb (4N) bitte als Lieferoption angeben 3.4.7 Remote Plasmakammer - Targets zusätzliche vorinstallierte Targetmaterialien und Reinheiten: Cu (5N), SiN (3N) bitte als Lieferoption angeben 5.7 Gewährleistungsverlängerung Verlängerung der Grundgewährleistungszeit um ein weiteres Jahr bitte als Option angeben

Source officielle

Source : TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Vérifiez toujours les détails dans l'avis officiel.

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Dernière vérification auprès de TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) il y a 1 mois

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