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Deutschland - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke - Remote Plasma PVD Chamber (IPMS-CNT04.2) - PR917294-2480-P

Aggiudicata Avviso di aggiudicazione

Dati principali

Aggiudicatario
Polyteknik AS
Dove
Germania Dresden
Procedura
Procedura negoziata La stazione appaltante seleziona i candidati e poi negozia le offerte prima di scegliere. Voce completa Sopra la soglia europea Un appalto abbastanza grande perché si applichino le regole europee e vada pubblicato su TED. Voce completa
Codice CPV Il vocabolario comune dell'UE per l'oggetto dell'acquisto: un codice a otto cifre presente in ogni bando. Voce completa
42990000 Macchinari vari per impieghi speciali
Lingua originale
Tedesco
Fonte
tramite TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU), verificato 1 mese fa
Numero dell'avviso
451047-2026
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  1. Pubblicata
  2. Aggiudicata in attesa

Descrizione

Remote Plasma PVD Chamber (IPMS-CNT04.2) 1 Stück Remote Plasma PVD Chamber Eine Prozesskammer als Ausrüstungserweiterung zur Abscheidung metallischer und nichtmetallischer Dünnschichten mittels PVD-Verfahren (Sputtering) auf Wafern mit einem Durchmesser von 300 mm. Die Sputterkammer als Upgrade des bestehenden Polyteknik Flextura 300 Depositionsclusters muss mit dem bestehenden Mainframe "Flextura 300" und den bereits vorhandenen Kammern "Confocal Sputter Module", "Degas Module", "Cooling Module" und "MBE Module" kompatibel sein. Optionale Leistungspositionen: 3.1.11 Plasma-Fernkammer - allgemein Plasma-Emissions-Monitoring (PEM) mit Rückkopplungssteuerung bitte Typ und Genauigkeit angeben 3.1.12 Plasma-Fernkammer - allgemein Restgasanalysator (RGA) Massenspektrometer Lieferoption 3.1.18 Plasma-Fernkammer - allgemein Quarzkristall-Mikrowaage zur Bestimmung der Depositionsrate, abnehmbar/abdeckbar ohne Kammeröffnung (z. B. Shutter oder versenkbar) Lieferoption; bitte Anzahl der QCMs, Art des Abdeckmechanismus (z. B. Shutter oder einziehbar); bitte Anzahl der QCMs und Art des Abdeckmechanismus angeben 3.2.3 Remote-Plasmakammer - Gasleitungen zusätzlicher Gaseinlass für vorgemischte Flaschen mit Standardflansch Lieferoption 3.4.6 Remote-Plasmakammer - Targets vorinstallierte Targetmaterialien und Reinheit: Zr (4N), Nb (4N) bitte als Lieferoption angeben 3.4.7 Remote Plasmakammer - Targets zusätzliche vorinstallierte Targetmaterialien und Reinheiten: Cu (5N), SiN (3N) bitte als Lieferoption angeben 5.7 Gewährleistungsverlängerung Verlängerung der Grundgewährleistungszeit um ein weiteres Jahr bitte als Option angeben

Fonte ufficiale

Fonte: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Verifica sempre i dettagli nell'avviso ufficiale.

Ultima verifica su TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) 1 mese fa

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