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Deutschland - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke - Remote Plasma PVD Chamber (IPMS-CNT04.2) - PR917294-2480-P

Adjudicada Adjudicación de contrato

Datos clave

Adjudicatario
Polyteknik AS
Órgano de contratación
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Dónde
Alemania Dresden
Procedimiento
Procedimiento negociado El órgano de contratación selecciona candidatos y negocia después las ofertas antes de decidir. Entrada completa Por encima del umbral europeo Un contrato lo bastante grande para que se apliquen las normas europeas y deba publicarse en TED. Entrada completa
Código CPV El vocabulario común de la UE para lo que se compra: un código de ocho cifras que lleva todo anuncio. Entrada completa
42990000 Máquinas diversas para usos especiales
Idioma original
Alemán
Fuente
vía TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU), verificado hace 1 mes
Número de anuncio
451047-2026
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  1. Publicada
  2. Adjudicada pendiente

Descripción

Remote Plasma PVD Chamber (IPMS-CNT04.2) 1 Stück Remote Plasma PVD Chamber Eine Prozesskammer als Ausrüstungserweiterung zur Abscheidung metallischer und nichtmetallischer Dünnschichten mittels PVD-Verfahren (Sputtering) auf Wafern mit einem Durchmesser von 300 mm. Die Sputterkammer als Upgrade des bestehenden Polyteknik Flextura 300 Depositionsclusters muss mit dem bestehenden Mainframe "Flextura 300" und den bereits vorhandenen Kammern "Confocal Sputter Module", "Degas Module", "Cooling Module" und "MBE Module" kompatibel sein. Optionale Leistungspositionen: 3.1.11 Plasma-Fernkammer - allgemein Plasma-Emissions-Monitoring (PEM) mit Rückkopplungssteuerung bitte Typ und Genauigkeit angeben 3.1.12 Plasma-Fernkammer - allgemein Restgasanalysator (RGA) Massenspektrometer Lieferoption 3.1.18 Plasma-Fernkammer - allgemein Quarzkristall-Mikrowaage zur Bestimmung der Depositionsrate, abnehmbar/abdeckbar ohne Kammeröffnung (z. B. Shutter oder versenkbar) Lieferoption; bitte Anzahl der QCMs, Art des Abdeckmechanismus (z. B. Shutter oder einziehbar); bitte Anzahl der QCMs und Art des Abdeckmechanismus angeben 3.2.3 Remote-Plasmakammer - Gasleitungen zusätzlicher Gaseinlass für vorgemischte Flaschen mit Standardflansch Lieferoption 3.4.6 Remote-Plasmakammer - Targets vorinstallierte Targetmaterialien und Reinheit: Zr (4N), Nb (4N) bitte als Lieferoption angeben 3.4.7 Remote Plasmakammer - Targets zusätzliche vorinstallierte Targetmaterialien und Reinheiten: Cu (5N), SiN (3N) bitte als Lieferoption angeben 5.7 Gewährleistungsverlängerung Verlängerung der Grundgewährleistungszeit um ein weiteres Jahr bitte als Option angeben

Fuente oficial

Fuente: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Verifica siempre los detalles en el anuncio oficial.

Última verificación con TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) hace 1 mes

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