Skip to content
Aperlena
Language:

Deutschland - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) - Laserlithographie

Closed Contract notice
Watch this tender

Bidding is closed. An award or a correction on this notice: an email when the register sees it. Log in

  1. Published
  2. Deadline open for 31 days
  3. Awarded pending

Description

Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Es entsteht eine komplette Prozesstechnologieket-te vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip die in einem von der Universität Ulm zur Verfügung gestellten Reinraum etabliert wird. Dort werden durch das Institut für Quantentechnologien u.a. Technologien für kompakte Dampfzellen so wie Komponenten für Quantenspeicher gebaut, basierend auf der Technologie kalter Atom Gase. Für die Ausstattung des Reinraums wird ein Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von kalten Atomgasen und verwandten Quantentechnologien erweitert. Im Rahmen dieser Ausschreibung wird eine weitere Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Dies dient der direkten Lithographie auf dem Zielsubstrat mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV-Lithographiemasken mittels Laserlithographie. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen. Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Es entsteht eine komplette Prozesstechnologiekette vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip die in einem von der Universität Ulm zur Verfügung gestellten Reinraum etabliert wird. Dort werden durch das Institut für Quantentechnologien u.a. Technologien für kompakte Dampfzellen so wie Komponenten für Quantenspeicher gebaut, basierend auf der Technologie kalter Atom Gase. Für die Ausstattung des Reinraums wird ein Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von kalten Atomgasen und verwandten Quantentechnologien erweitert. Im Rahmen dieser Ausschreibung wird eine weitere Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Dies dient der direkten Lithographie auf dem Zielsubstrat mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV-Lithographiemasken mittels Laserlithographie. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.

Official source

Source: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Always verify details on the official notice.

Last verified against TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) 1 month ago

View the official notice

More from this buyer

Full buyer profile

31 open tenders right now

Recent awards

Change history

Every time an official source republished this notice with different content. We watch every source we index, including regional copies of the same notice.

  1. Act now
    • Status: Now marked as Closed
    • Submission deadline: Moved 1 day EARLIER: now August 3, 2026, 00:00
    • Scope and criteria: The description was expanded. Re-read it before you bid.

Follow this tender and we email you the moment it changes. Create account

Similar tenders

Market context

Avg. open tender · Laboratory & precision equipment
€5,515,565
1,972 open across Europe right now
Buyer track record on Aperlena
251 notices tracked · 153 awarded
€3,219,001 in awarded contracts

Never miss a tender like this

63 new notices in Laboratory & precision equipment in Germany in the last 7 days. Get an email when new ones appear. Free.

Set up my alert
Source

Keyboard shortcuts

Read a list without reaching for the mouse. The shortcuts stay quiet while you type in a field.

j
Next result
k
Previous result
Enter
Open the result
n
Next page
p
Previous page
c
Compare this result
s
Shortlist this result
/
Jump to the search box
?
Show these shortcuts
Esc
Close