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Aperlena

Frankreich - Mikroelektronische Maschinen und Geraete - Lieferung einer 300mm Anlage zum chemisch-mechanischen Polieren

Original France - Machines et appareils microélectroniques - Fourniture d’un équipement de 300mm de polissage mécano-chimique

Offen Auftragsbekanntmachung

Eckdaten

Auftraggeber
CEA Grenoble
Ort
Frankreich Rhône-Alpes
Verfahren
Verhandlungsverfahren Der Auftraggeber wählt Bewerber aus und verhandelt dann über die Angebote, bevor er entscheidet. Ganzer Eintrag Oberhalb des EU-Schwellenwerts Ein Auftrag, der groß genug ist, dass EU-weite Regeln gelten und er auf TED erscheinen muss. Ganzer Eintrag
CPV-Code Das EU-weite Vokabular für den Beschaffungsgegenstand: ein achtstelliger Code in jeder Bekanntmachung. Ganzer Eintrag
31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte
Originalsprache
Französisch
Veröffentlicht
Quelle
über TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU), geprüft vor 1 Monat
Bekanntmachungsnummer
272106-2026
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Das Aperlena-Urteil

Offenes Rennen

Kein Anbieter dominiert: 10 verschiedene Unternehmen haben die letzten 10 vergleichbaren Aufträge dieses Auftraggebers in 5 Jahren gewonnen. Ein wirklich offenes Rennen.

Basierend auf 10 vergleichbaren Zuschlägen dieses Auftraggebers in dieser Branche über 5 Jahre. Jedes Urteil wird vor dem Ergebnis festgehalten und an der Zuschlagsbekanntmachung gemessen. Wie wir uns selbst bewerten.

Zusammenfassung

Maschinell erstellte Zusammenfassung

Die franzoesische Forschungseinrichtung CEA-LETI mit Sitz in Grenoble beschafft eine 300mm Anlage zum chemisch-mechanischen Polieren (CMP) fuer ihre Forschung zu FD-SOI-Technologien ab 10 nm. Die Anlage muss Metallfilme wie Kupfer oder Wolfram sowie Barrierematerialien wie Tantal oder Titan und transparente Scheiben polieren koennen. Sie muss ueber 4 Teller und 2 Cleaner verfuegen, um 2 Prozesse parallel zu bearbeiten, ueber Polierkoepfe und End-point-Systeme der neuesten Generation mit automatischer Anpassung des Polierprofils verfuegen und spaeter ein In-situ-Metrologiemodul integrieren. Der Vertrag enthaelt eine obligatorische Option zur Verlaengerung der Garantie um ein Jahr sowie fakultative Optionen (Restsensor, Waermetauscher, Transformator, Wartungsschulungen, Transport).

Beschreibung

Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 300mm de polissage mécano-chimique. L’équipement devra pouvoir polir des films métallique tels que le cuivre ou le tungstène ainsi que des matériaux barrières comme le tantale ou le titane. L’équipement devra également être capable de polir des plaques transparentes. Il devra être équipé de 4 plateaux et 2 cleaner pour pouvoir traiter 2 procédés en parallèle. Il devra être équipé des têtes de polissage et des systèmes d’end-point de dernière génération permettant l’ajustement automatique du profil de polissage. L’outil devra par la suite intégrer un module de métrologie in-situ. Le présent marché comporte l'option obligatoire suivante : - Option n°1 : Prolongation de la garantie d’une année supplémentaire. Le présent marché les options facultatives suivantes : - Option n°2 : Fourniture d’un capteur de résidus (§3.1 du cahier des charges), - Option n°3 : Fourniture d’un échangeur de chaleur/refroidisseur (§3.2.6 du cahier des charges), - Option n°4 : Fourniture d’un transformateur électrique (§4.1.3 du cahier des charges), - Option n°5 : Formation de maintenance 1er niveau (§9 du cahier des charges), - Option n°6 : Formation de maintenance avancée (§9 du cahier des charges), - Option n°7 : Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).

Amtliche Quelle

Quelle: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Prüfen Sie alle Angaben stets in der amtlichen Bekanntmachung.

Zuletzt mit TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) abgeglichen vor 1 Monat

Mehr von diesem Auftraggeber

Vollständiges Auftraggeberprofil

33 offene Ausschreibungen derzeit

Wer die Aufträge dieses Auftraggebers in diesem Sektor gewöhnlich gewinnt

Unternehmen Zuschläge Vergebenes Volumen Letzter Zuschlag
MATECH ELECTRONIQUE SAS 1 317.500 € Aug 2026
Beneq Oy 1 k. A. Jan 2026
CRYO DIFFUSION 1 k. A. Jul 2026
EURIS SAS 1 k. A. Mai 2026
Ion Beam Services SAS 1 k. A. Mai 2026

Grundlage: 10 Vergaben mit verknüpftem Unternehmensprofil aus den letzten 5 Jahren.

Was dieser Auftraggeber bisher gezahlt hat

Auf Basis von 10 vergleichbaren Auftraegen, die dieser Auftraggeber in dieser Branche in den letzten 4 Jahren vergeben hat.

Unteres Quartil
1 €
Median der Zuschlaege
1 €
Oberes Quartil
1 €

Juengste Zuschlaege

Auftragswerte wie von den amtlichen Quellen veroeffentlicht. Als Orientierung zu verstehen, nicht als Regel: Umfang, Lose und Laufzeit unterscheiden sich.

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Marktkontext

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