Zusammenfassung
Maschinell erstellte ZusammenfassungVTT in Finnland moechte ein automatisiertes Defektpruefsystem fuer 200 mm und 300 mm strukturierte Wafer beschaffen. Die Ausruestung muss waehrend des Herstellungsprozesses von funktionalen Bauelementen schnell Defekte verfolgen, sowohl in-line als auch am Ende des Front-end-Prozesses. Sie muss Partikel, Hohlräume, Risse, Kratzer, Vertiefungen, Erhebungen und Truebungen in Strukturen aus Siliziumoxiden, Nitriden, Polysilizium, Metallen und Fotolack erkennen. Der Kaeufer ist VTT in Finnland. Der geschaetzte Wert und die Frist sind im Text nicht angegeben. Weitere technische Anforderungen und das Verfahren sind in den Vergabeunterlagen beschrieben.
Beschreibung
Amtliche Quelle
Quelle: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)
Prüfen Sie alle Angaben stets in der amtlichen Bekanntmachung.
Zuletzt mit TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) abgeglichen vor 1 Monat
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