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Finnland - Labor-, optische und Praezisionsgeraete (ohne Glaeser) - Defektpruefsystem

Original Finland - Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) - Defect inspection system

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  1. Veröffentlicht
  2. Frist 42 Tage offen
  3. Vergeben ausstehend

Zusammenfassung

Maschinell erstellte Zusammenfassung

VTT in Finnland moechte ein automatisiertes Defektpruefsystem fuer 200 mm und 300 mm strukturierte Wafer beschaffen. Die Ausruestung muss waehrend des Herstellungsprozesses von funktionalen Bauelementen schnell Defekte verfolgen, sowohl in-line als auch am Ende des Front-end-Prozesses. Sie muss Partikel, Hohlräume, Risse, Kratzer, Vertiefungen, Erhebungen und Truebungen in Strukturen aus Siliziumoxiden, Nitriden, Polysilizium, Metallen und Fotolack erkennen. Der Kaeufer ist VTT in Finnland. Der geschaetzte Wert und die Frist sind im Text nicht angegeben. Weitere technische Anforderungen und das Verfahren sind in den Vergabeunterlagen beschrieben.

Beschreibung

VTT is looking to acquire an automated defect inspection tool for 200 mm and 300 mm patterned wafers. The tool will enable rapid tracking of defects that appear during the manufacturing process of functional devices (in-line and end-of-line in the Front-end process). The tool must be capable of detecting particles, voids, cracks, scratches, pits, bumps, and hazes in the pattern. The materials of the patterns that the machine must be able to analyze are silicon oxides and nitrides, polysilicon, metals, and photoresist. The object of the tender process and the technical requirements are described in more detail in the invitation to tender documents.

Amtliche Quelle

Quelle: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Prüfen Sie alle Angaben stets in der amtlichen Bekanntmachung.

Zuletzt mit TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) abgeglichen vor 1 Monat

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