Ein Plasma-Ätzsystem (Reactive Ion Etching, RIE) für das Center of MicroNanoTechnology

01

Die EPFL beabsichtigt, für ihr Center of MicroNanoTechnology (CMi) ein Plasma-Ätzsystem (Reactive Ion Etching, RIE) als Plattform für das Ätzen von Metallen zu beschaffen. Das System soll sowohl für quadratische Fotomasken als auch für Standard-Wafer in verschiedenen Größen ausgelegt sein. Das CMi ist eine nutzerorientierte Einrichtung für die Mikro- und Nanofabrikation, die allen Fakultäten der EPFL zentralen Zugang zu Reinraumkapazitäten bietet und auch der lokalen Industrie offensteht, mit jährlich mehr als 650 aktiven Nutzern. Die Anlage dient der Spitzenforschung, insbesondere der Strukturierung von Metallschichten auf lithografischen Masken, Reticles und Wafern. Bei der Bewertung zählen Ätzqualität, Vermeidung von Kreuzkontaminationen zwischen Materialien, Benutzerfreundlichkeit für die Schulung neuer Anwender, Vielseitigkeit der Prozesssteuerung, Robustheit im Reinraum sowie Reaktionsfähigkeit und räumliche Nähe des Anbieters für technischen und prozesstechnischen Support.

02

Beschreibung

04

Was dieser Auftraggeber bisher gezahlt hat

Auf Basis von 17 vergleichbaren Auftraegen, die dieser Auftraggeber in dieser Branche in den letzten 4 Jahren vergeben hat.

Median der Zuschlaege

434.646 €

Mittlere Hälfte der früheren Zuschläge

340.622 € bis 645.000 €

simap.ch - Swiss public procurement platform veröffentlicht für diese Bekanntmachung keinen Wert, deshalb hat sie keine Marke auf der Skala. Die offiziellen Unterlagen nennen ihn möglicherweise.

Juengste Zuschlaege

• Suisse - Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes) - Une plateforme automatisée d'imagerie de lames entières à haut débit 254.666 € FR_Evident Europe GmbH, Hamburg, Zweigniederlassung Basel
• Suisse - Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes) - Deux réfrigérateurs à dilution sans cryogène 975.848 € FR_Bluefors Oy
• Schweiz - Labor-, optische und Praezisionsausruestung (ausgenommen Brillen) - Ein modernes Einkristall-Roentgendiffraktometer mit zwei Roentgenquellen 645.000 € FR_BRUKER AXS SE
• Schweiz - Massenspektrometer - Zwei Instruments mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) fuer die Plattform fuer Massenspektrometrie und Elementaranalyse 340.622 € FR_Thermo Fisher Scientific (Schweiz) AG
• Schweiz - Labor-, optische und Praezisionsausruestung (ausgenommen Brillen) - Ein DNA-Hochdurchsatz-Sequenzer 843.951 € FR_Illumina Switzerland GmbH

Auftragswerte wie von den amtlichen Quellen veroeffentlicht. Als Orientierung zu verstehen, nicht als Regel: Umfang, Lose und Laufzeit unterscheiden sich.

05

EPFL-Scientific Equipment

Schweiz

Bekanntmachungen im Register

63

Zuschläge

28

insgesamt vergeben

8,7 Mio. €

Wer die Aufträge dieses Auftraggebers in diesem Sektor gewöhnlich gewinnt

Grundlage: 17 Vergaben mit verknüpftem Unternehmensprofil aus den letzten 5 Jahren.

13 offene Ausschreibungen derzeit

• Suisse - Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes) - Acquisition d'un module de puissance doté d'un système de commande associé en vue de la mise en place d'une alimentation haute tension 7 Okt 2026 · Noch 5 Tage
• Ein Structured-Illumination-Mikroskop für die BioImaging & Optics Platform 22 Okt 2026 · Noch 20 Tage
• Ein hochmodernes XPS-System zu beschaffen (mit einer UV-Quelle für UPS, einer monoatomaren Ionenquelle und einer Gasclusterquelle für die Tiefenprofilierung) 22 Okt 2026 · Noch 20 Tage

06

Marktkontext

simap.ch - Swiss public procurement platform veröffentlicht für diese Bekanntmachung keinen Wert, deshalb lässt sie sich unter den offenen Bekanntmachungen der Branche nicht einordnen. Die offiziellen Unterlagen nennen ihn möglicherweise.

jetzt offen im Bereich Labor- & Präzisionsgeräte

2.313

Median der offenen Bekanntmachungen

229.760 €