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Aperlena

Deutschland - Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke - Clustertool for Ion Beam Etching of 300mm wafers

Offen Auftragsbekanntmachung

Eckdaten

Ort
Deutschland Dresden
Verfahren
Verhandlungsverfahren Der Auftraggeber wählt Bewerber aus und verhandelt dann über die Angebote, bevor er entscheidet. Ganzer Eintrag Oberhalb des EU-Schwellenwerts Ein Auftrag, der groß genug ist, dass EU-weite Regeln gelten und er auf TED erscheinen muss. Ganzer Eintrag
CPV-Code Das EU-weite Vokabular für den Beschaffungsgegenstand: ein achtstelliger Code in jeder Bekanntmachung. Ganzer Eintrag
42900000 Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
Originalsprache
Deutsch
Veröffentlicht
Quelle
über TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU), geprüft vor 1 Monat
Bekanntmachungsnummer
117594-2026
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Zusammenfassung

Maschinell erstellte Zusammenfassung

Das Fraunhofer IPMS in Deutschland beschafft ein Ionenstrahl-Ätzprozesswerkzeug für die 300mm-Waferfertigung. Das als Clustertool beschriebene System wird für die Bearbeitung von CMOS-Wafern in einer Reinraumumgebung der Klasse 1000, etwa Klasse 6 nach EN ISO 14644-1, eingesetzt. Der Lieferant muss Anforderungen an Metallkontamination und Partikelerzeugung erfüllen, die mit Industriestandards vereinbar sind. Interessierte Unternehmen sollten daher die vollständigen Vergabeunterlagen einsehen, um diese Details vor der Angebotsvorbereitung zu prüfen.

Beschreibung

The tender item is an ion beam etching process tool to be used for 300mm wafer fabrication at the FRAUNHOFER IPMS. The systems will be used for the processing of CMOS wafers in a cleanroom class 1000 (approximately class 6 EN ISO 14644-1) production environment. Therefore, it is necessary to fulfill require-ments regarding metal contamination and particle generation compatible with industry standards.

Amtliche Quelle

Quelle: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Prüfen Sie alle Angaben stets in der amtlichen Bekanntmachung.

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Zuletzt mit TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) abgeglichen vor 1 Monat

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Vollständiges Auftraggeberprofil

9 offene Ausschreibungen derzeit

Für diesen Auftraggeber sind in diesem Sektor noch keine Vergaben erfasst. Übliche Gewinner, Industriemaschinen - Deutschland

Unternehmen Zuschläge Vergebenes Volumen Letzter Zuschlag
DMG MORI Technium Europe GmbH 9 824.275 € Sep 2026
EV Group E. Thallner GmbH 5 k. A. Aug 2026
E.W. NEU GmbH 4 2,9 Mio. € Aug 2026
SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH 4 145.134 € Mai 2026
KLA Corporation 4 k. A. Aug 2026

Grundlage: 457 Vergaben mit verknüpftem Unternehmensprofil aus den letzten 2 Jahren.

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