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Deutschland - Installation (außer Software) - Erneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage für III-Nitrid und 2D-Halbleiter

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Maschinell erstellte Zusammenfassung

Die Universität Duisburg-Essen vergibt die teilweise Erneuerung und Erweiterung einer bestehenden MOVPE-Anlage (metallorganische Gasphasenepitaxie) der Firma Aixtron (Seriennummer CS17580), die zur Herstellung von III-Nitrid-Halbleiterbauelementen eingesetzt wird. Erneuert werden die Prozesspumpe, der Showerhead-Gaseinlass und vier Rückschlagventile. Erweitert wird die Anlage um Leitungen für die Quellmaterialien Triethylboran und Ethen, einschließlich entsprechender Arbeiten am Gasversorgungssystem sowie Fluss- und Druckreglern zur kontrollierten Zuführung in den Reaktor. Die Anlage läuft in einem Reinraum bis Klasse 5 (ISO 14644-1). Weder ein geschätzter Auftragswert noch eine Abgabefrist für Angebote sind in den vorliegenden Informationen angegeben. Details finden sich in der technischen Beschreibung und Leistungsbeschreibung.

Beschreibung

Erneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage für III-Nitrid und 2D-Halbleiter 1. Allgemeine Beschreibung: Die Universität Duisburg-Essen erforscht Materialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration für Anwendungen in der Höchstfrequenzelektronik und in der Optoelektronik. Zur Durchführung der Forschungsarbeiten wird eine durchgängige Prozesslinie in einem Reinraum bis Klasse 5 (ISO 14644-1) betrieben. Zur Herstellung von III-Nitrid Halbleiter Bauelementen muss die vorhandene Anlage zur metallorganischen Gasphasenepitaxie (MOVPE) der Firma Aixtron (Seriennummer CS17580) für aktuelle und kommende Forschungsprojekte teilweise erneuert und erweitert werden. Erneuert werden folgende Komponenten: - Die Prozesspumpe - Der Showerhead Gaseinlass - 4x Rückschlagventile Die Erweiterung umfasst Leitungen für die Quellmaterialien Triethylboran und Ethen, welche in die Anlage integriert werden müssen. Dazu sind für jedes Material entsprechende Arbeiten am Gasversorgungssystem (engl. gas panel) durchzuführen. Die Materialien werden durch entsprechende Fluss- und Druckregler kontrolliert in den Reaktor geführt (detailliert in der technischen Beschreibung aufgeführt). Die vollständige Beschreibung ist der Leistungsbeschreibung zu entnehmen.

Amtliche Quelle

Quelle: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Prüfen Sie alle Angaben stets in der amtlichen Bekanntmachung.

Zuletzt mit TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) abgeglichen vor 1 Woche

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Vollständiges Auftraggeberprofil

13 offene Ausschreibungen derzeit

Für diesen Auftraggeber sind in diesem Sektor noch keine Vergaben erfasst. Übliche Gewinner, Installationsdienste - Deutschland

Unternehmen Zuschläge Vergebenes Volumen Letzter Zuschlag
Siemens AG 3 148.586 € Mai 2026
Meterix GmbH 2 600.000 € Jun 2026
INFODAS Gesellschaft für Systementwicklung und Informationsverarbeitung mbH 2 k. A. Mai 2026
SPIE Information & Communication Services GmbH 2 k. A. Jul 2026
AGO GmbH Energie + Anlagen 1 €9,8M Jul 2026

Grundlage: 58 Vergaben mit verknüpftem Unternehmensprofil aus den letzten 2 Jahren.

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