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Alemania - Instalación (excepto software) - Renovación y ampliación de un sistema MOVPE para nitruros de III y semiconductores 2D

Original Deutschland - Installation (außer Software) - Erneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage für III-Nitrid und 2D-Halbleiter

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La Universidad de Duisburg-Essen contrata la renovación parcial y ampliación de un sistema MOVPE (epitaxia de fase vapor metalorgánica) existente del fabricante Aixtron (número de serie CS17580), empleado para fabricar componentes semiconductores de nitruros de grupo III. Los trabajos incluyen sustituir la bomba de proceso, la entrada de gases tipo showerhead y cuatro válvulas antirretorno, además de añadir líneas de suministro para los materiales fuente trietilborano y eteno, con los trabajos correspondientes en el panel de suministro de gases y reguladores de caudal y presión hacia el reactor. El sistema opera en una sala limpia de hasta clase 5 (ISO 14644-1). Los detalles figuran en la descripción técnica.

Descripción

Erneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage für III-Nitrid und 2D-Halbleiter 1. Allgemeine Beschreibung: Die Universität Duisburg-Essen erforscht Materialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration für Anwendungen in der Höchstfrequenzelektronik und in der Optoelektronik. Zur Durchführung der Forschungsarbeiten wird eine durchgängige Prozesslinie in einem Reinraum bis Klasse 5 (ISO 14644-1) betrieben. Zur Herstellung von III-Nitrid Halbleiter Bauelementen muss die vorhandene Anlage zur metallorganischen Gasphasenepitaxie (MOVPE) der Firma Aixtron (Seriennummer CS17580) für aktuelle und kommende Forschungsprojekte teilweise erneuert und erweitert werden. Erneuert werden folgende Komponenten: - Die Prozesspumpe - Der Showerhead Gaseinlass - 4x Rückschlagventile Die Erweiterung umfasst Leitungen für die Quellmaterialien Triethylboran und Ethen, welche in die Anlage integriert werden müssen. Dazu sind für jedes Material entsprechende Arbeiten am Gasversorgungssystem (engl. gas panel) durchzuführen. Die Materialien werden durch entsprechende Fluss- und Druckregler kontrolliert in den Reaktor geführt (detailliert in der technischen Beschreibung aufgeführt). Die vollständige Beschreibung ist der Leistungsbeschreibung zu entnehmen.

Fuente oficial

Fuente: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Verifica siempre los detalles en el anuncio oficial.

Última verificación con TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) hace 1 semana

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