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Deutschland - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke - Chlor ICP mit ALE Erweiterung (IAF-07a.1 - PR1011457-2050-P

Vergeben Vergabebekanntmachung

Eckdaten

Zuschlagsempfänger
SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Auftraggeber
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Ort
Deutschland Freiburg
Verfahren
Verhandlungsverfahren Der Auftraggeber wählt Bewerber aus und verhandelt dann über die Angebote, bevor er entscheidet. Ganzer Eintrag Oberhalb des EU-Schwellenwerts Ein Auftrag, der groß genug ist, dass EU-weite Regeln gelten und er auf TED erscheinen muss. Ganzer Eintrag
CPV-Code Das EU-weite Vokabular für den Beschaffungsgegenstand: ein achtstelliger Code in jeder Bekanntmachung. Ganzer Eintrag
42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Originalsprache
Deutsch
Quelle
über TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU), geprüft vor 1 Monat
Bekanntmachungsnummer
70256-2026
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  1. Veröffentlicht
  2. Vergeben ausstehend

Beschreibung

Chlor ICP mit ALE Erweiterung (IAF-07a.1) 1 Stück Chlor ICP mit ALE Erweiterung Chlor ICP Ätzanlage mit planarer Quelle und Erweiterung für Atomlagenätzen (ALE / Atomic Layer Etching) inkl. Endpunktdetektion Option 1: Möglichkeit Wafer mit 100mm-Durchmesser, sowie Bruchstücke auf Metall-Carriern zu Ätzen. Option 2: Möglichkeit Wafer mit 75mm-Durchmesser, sowie Bruchstücke auf Metall-Carriern zu Ätzen. Option 3: SESC/GEM Schnittstellen-Erweiterung für Datentransfer vom MES an die Anlage Option 4: Einweisung der IAF Anlagenoperatoren in ALE Prozesse Option 5: Substratelektrode/Bias: HF-Generator (Austauschgenerator) Option 6: Beheizter Liner für Reaktor (für Austausch) Option 7: Koppelplatte Al2O3 ohne Fenster Option 8: Klemmring für 150 mm Wafer Option 9: magnetisch gelagerte Trockenpumpe (für Austausch), wie in 8.1

Amtliche Quelle

Quelle: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Prüfen Sie alle Angaben stets in der amtlichen Bekanntmachung.

Zuletzt mit TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) abgeglichen vor 1 Monat

Zur amtlichen Bekanntmachung

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