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Deutschland - Diverse Maschinen, Einrichtungen und Zubehör - Cure Anneal (IZM-139) - PR1233787-3460-P

Vergeben Vergabebekanntmachung

Eckdaten

Zuschlagsempfänger
Crystec Technology Trading GmbH
Auftraggeber
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Ort
Deutschland Dresden
Verfahren
Verhandlungsverfahren Der Auftraggeber wählt Bewerber aus und verhandelt dann über die Angebote, bevor er entscheidet. Ganzer Eintrag Oberhalb des EU-Schwellenwerts Ein Auftrag, der groß genug ist, dass EU-weite Regeln gelten und er auf TED erscheinen muss. Ganzer Eintrag
CPV-Code Das EU-weite Vokabular für den Beschaffungsgegenstand: ein achtstelliger Code in jeder Bekanntmachung. Ganzer Eintrag
30190000 Diverse Maschinen, Einrichtungen und Zubehör
Originalsprache
Deutsch
Quelle
über TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU), geprüft vor 3 Wochen
Bekanntmachungsnummer
599333-2026
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  2. Vergeben ausstehend

Zusammenfassung

Maschinell erstellte Zusammenfassung

Die Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, hat einen Vertrag über eine Cure Anneal Anlage (IZM-139) vergeben. Es handelt sich um einen Aushärtungs- oder Temperofen mit regelbaren Temperaturanstiegen, einem hochstabilen Temperaturprozess und einer definierten Gasatmosphäre für Substrate wie Silizium- und Glaswafer in den Größen 300 mm und 200 mm. Die Maschine muss Wafer vollautomatisch aus FOUPs entladen, definierte Prozessschritte in einem temperatur-, druck- und gasgeregelten Bereich ausführen und die Wafer zurückladen, mit zwei Ladeöffnungen für hohen Durchsatz. Rezepturprogrammierung für Forschung und Entwicklung ist erforderlich. Der Vertrag wurde an die Crystec Technology Trading GmbH vergeben.

Beschreibung

1x Cure Anneal (IZM-139) Der Zweck dieser Gerätespezifikation besteht darin, grundlegende Anforderungen an einen Aushärtungs-/Temperofen mit regelbaren Temperaturanstiegen, einem hochstabilen Temperaturprozess und einer definierten Gasatmosphäre für verschiedene Substrattypen und -größen (Si, Glas mit Wafergrößen von 300 mm und 200 mm) festzulegen. Vor dem Aushärtungs-/Temperprozess werden die Wafer in Front Opening Unified Pods (FOUPs) an das Gerät geliefert, die vom Bediener auf die jeweiligen Ladeöffnungen gesetzt werden. Das Gerät muss in der Lage sein, die folgende Abfolge von Schritten vollautomatisch auszuführen: • automatisches Entladen der Wafer aus den FOUPs • Definierte Prozessschritte in einem temperatur-, druck- und gasgeregelten Bereich • Rückladen der Wafer in die Ausgangsposition in den FOUP Um einen hohen Durchsatz zu gewährleisten, muss die Maschine mit zwei Ladeöffnungen ausgestattet sein. Die Programmierung von Rezepturen muss innerhalb eines angemessenen Bereichs von Optionen und Parametern möglich sein, wie es für Forschung und Entwicklung (F&E) erforderlich ist.

Amtliche Quelle

Quelle: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Prüfen Sie alle Angaben stets in der amtlichen Bekanntmachung.

Zuletzt mit TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) abgeglichen vor 3 Wochen

Zur amtlichen Bekanntmachung

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