Opis
Es soll eine halbautomatische Hotplate zur Temperung von mit Resists beschichteten Substraten für hochauflösende Elektronenstrahllithografie beschafft werden. Die Anlage dient zur definierten Pre- und Post-bake chemisch verstärkter Resists, wie bspw. FEP171, bei denen die Empfindlichkeit wesentlich durch das Temperatur Zeit Profil und die Temperatur-Homo genität bestimmt wird. Zu prozessierende Substrate umfassen u.a. 300mm-Wafer, sowie rechteckiger Glas-Substrate bis zu L x B x H = 300mm × 275mm × 15mm. Aus diesen technischen Randbedingungen ergeben sich die folgenden Anforderungen:, siehe Anlage 2.
Oficjalne źródło
Źródło: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)
Zawsze weryfikuj szczegóły w oficjalnym ogłoszeniu.
Ostatnia weryfikacja w TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) 1 miesiąc temu
Więcej od tego zamawiającego
Pełny profil zamawiającego14 otwartych przetargów w tej chwili
- Spektrometr z detektorami CCD i InGaAs Zostało 11 dni
- Sprzęt laboratoryjny, optyczny i precyzyjny (z wyjątkiem szkła) - Wielofunkcyjne urządzenie sterujące, pomiarowe i do przetwarzania sygnałów oparte na FPGA Zostało 11 dni
- Źródło światła dla stanowiska pomiarowego do inspekcji (strojalne źródło laserowe MWIR) Zostało 11 dni
Ostatnie udzielenia
Podobne przetargi
Kontekst rynkowy
- Śr. otwarty przetarg · Sprzęt laboratoryjny i precyzyjny
- 5 559 298 €
- Historia zamawiającego w Aperlena
- 158 zarejestrowanych ogłoszeń · 51 udzielonych
- 11 029 725 € w udzielonych zamówieniach
Nie przegap przetargów takich jak ten
64 nowych ogłoszeń w ostatnich 7 dniach: Sprzęt laboratoryjny i precyzyjny, Niemcy. Otrzymuj e-mail, gdy pojawią się nowe ogłoszenia. Za darmo.
Ustaw mój alert