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Irlande - Equipements de laboratoire, optiques et de precision - Fourniture d'outils de gravure et depot plasma, 4 lots

Original Ireland - Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) - LA3215C-UCC-CFT for the Supply of a Suite of Plasma Etcher and Plasma Deposition Tools, 4 Lots

Clôturé Avis de marché

Informations clés

Clôturé
Montant estimé
3 300 000 €
Acheteur public
Education Procurement Service (EPS)
Lieu
Irlande Southern
Procédure
Procédure ouverte Toute entreprise peut remettre une offre, en une seule étape, sans présélection. Entrée complète Au-dessus du seuil européen Un marché assez important pour que les règles européennes s'appliquent et qu'il paraisse sur TED. Entrée complète
Code CPV Le vocabulaire commun de l'UE pour ce qui est acheté : un code à huit chiffres présent dans chaque avis. Entrée complète
38000000 Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes)
Langue d'origine
Anglais
Source
via TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU), vérifié il y a 1 mois
Numéro de l'avis
488696-2026
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  1. Publié
  2. Date limite ouvert 9 jours
  3. Attribué en attente

Résumé

Résumé généré automatiquement

Le University College Cork en Irlande recherche des offres pour la fourniture, la livraison, l'installation et la mise en service d'un ensemble d'outils de gravure et de depot de plasma en quatre lots. Ces equipements amelioreront la fabrication de semi-conducteurs au Tyndall National Institute. Le lot 1 couvre la gravure du silicium, le lot 2 les metaux et piezoelectriques, le lot 3 la gravure couche par couche et le lot 4 le depot de plasma. Les outils doivent traiter des tranches de 100 mm et 200 mm. Les entreprises avec des solutions de pointe sont invitees a soumissionner.

Description

Tenders are sought for the supply delivery, installation and commissioning of a suite of tools in 4 Lots for silicon-based and dielectric materials for University College Cork. The new plasma tools will enhance the capabilities at the Tyndall National Institute for the fabrication of semiconductor devices, especially silicon microelectronics and silicon MEMS, but also other materials such as germanium and silicon carbide. We invite proposals for the following lots; Lot 1 Plasma Etcher Silicon Dielectrics, advanced plasma etching system capable of etching for polysilicon poly-Si silicon dioxide SiO2 silicon nitride SiN thin films using medium high-density plasma processes. Lot 2 Plasma Etcher Metals Piezoelectrics, advanced plasma etching system capable of etching for aluminium Al and alloys molybdenum Mo aluminium scandium nitride AlScN thin films using medium high-density plasma processes. Lot 3 Plasma Etcher Slow and Controllable Rate Atomic Layer Etch for Silicon Dielectrics, advanced plasma etching system capable of both conventional high-rate etching and slow and controllable rate atomic layer etching for silicon Si silicon dioxide SiO2 silicon nitride SiN thin films using medium high-density plasma processes. Lot 4 Plasma Deposition PECVD, advanced plasma enhanced chemical vapour deposition system capable of depositing dielectric SiO2, SiN and amorphous a-Si thin films on semiconductor substrates. This equipment will be essential for etching and depositing a range of materials used in the fabrication of silicon microelectronics, silicon photonics and silicon MEMS devices. The ideal tools will offer precision, reliability, and efficiency to meet the requirements for etching and deposition on both 100 mm and 200 mm diameter wafers. Tenderers with cutting-edge solutions that can achieve these high standards are encouraged to submit their proposals for this vital component in our technological advancement.

Source officielle

Source : TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Vérifiez toujours les détails dans l'avis officiel.

Dernière vérification auprès de TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) il y a 1 mois

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  1. Agir maintenant
    • Statut: Désormais au statut Clôturé
    • Valeur estimée: Fixé à 3 300 000 €
    • Date limite de remise: Avancée de 1 jour : désormais 24 juillet 2026, 00:00
    • Valeur estimée: Fixé à 3 300 000 €

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Contexte de marché

Appel ouvert moyen · Équipements de laboratoire & de précision
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