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Irlanda - Attrezzature di laboratorio, ottiche e di precisione - Fornitura di strumenti di incisione e deposizione al plasma, 4 lotti

Originale Ireland - Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) - LA3215C-UCC-CFT for the Supply of a Suite of Plasma Etcher and Plasma Deposition Tools, 4 Lots

Chiusa Bando di gara

Dati principali

Chiusa
Importo stimato
3.300.000 €
Stazione appaltante
Education Procurement Service (EPS)
Dove
Irlanda Southern
Procedura
Procedura aperta Chiunque può presentare un'offerta, in un solo passaggio, senza preselezione. Voce completa Sopra la soglia europea Un appalto abbastanza grande perché si applichino le regole europee e vada pubblicato su TED. Voce completa
Codice CPV Il vocabolario comune dell'UE per l'oggetto dell'acquisto: un codice a otto cifre presente in ogni bando. Voce completa
38000000 Attrezzature da laboratorio, ottiche e di precisione (escluso vetri)
Lingua originale
Inglese
Fonte
tramite TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU), verificato 1 mese fa
Numero dell'avviso
488696-2026
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  1. Pubblicata
  2. Scadenza aperta 9 giorni
  3. Aggiudicata in attesa

Sintesi

Sintesi generata automaticamente

Il University College Cork in Irlanda cerca offerte per la fornitura, consegna, installazione e messa in servizio di strumenti di incisione e deposizione al plasma in quattro lotti. Le attrezzature miglioreranno la fabbricazione di semiconduttori presso il Tyndall National Institute. Il lotto 1 riguarda l'incisione del silicio, il lotto 2 metalli e piezoelettrici, il lotto 3 l'incisione a strato atomico e il lotto 4 la deposizione al plasma. Gli strumenti devono elaborare wafer da 100 mm e 200 mm. Le aziende con soluzioni avanzate sono invitate a presentare offerte.

Descrizione

Tenders are sought for the supply delivery, installation and commissioning of a suite of tools in 4 Lots for silicon-based and dielectric materials for University College Cork. The new plasma tools will enhance the capabilities at the Tyndall National Institute for the fabrication of semiconductor devices, especially silicon microelectronics and silicon MEMS, but also other materials such as germanium and silicon carbide. We invite proposals for the following lots; Lot 1 Plasma Etcher Silicon Dielectrics, advanced plasma etching system capable of etching for polysilicon poly-Si silicon dioxide SiO2 silicon nitride SiN thin films using medium high-density plasma processes. Lot 2 Plasma Etcher Metals Piezoelectrics, advanced plasma etching system capable of etching for aluminium Al and alloys molybdenum Mo aluminium scandium nitride AlScN thin films using medium high-density plasma processes. Lot 3 Plasma Etcher Slow and Controllable Rate Atomic Layer Etch for Silicon Dielectrics, advanced plasma etching system capable of both conventional high-rate etching and slow and controllable rate atomic layer etching for silicon Si silicon dioxide SiO2 silicon nitride SiN thin films using medium high-density plasma processes. Lot 4 Plasma Deposition PECVD, advanced plasma enhanced chemical vapour deposition system capable of depositing dielectric SiO2, SiN and amorphous a-Si thin films on semiconductor substrates. This equipment will be essential for etching and depositing a range of materials used in the fabrication of silicon microelectronics, silicon photonics and silicon MEMS devices. The ideal tools will offer precision, reliability, and efficiency to meet the requirements for etching and deposition on both 100 mm and 200 mm diameter wafers. Tenderers with cutting-edge solutions that can achieve these high standards are encouraged to submit their proposals for this vital component in our technological advancement.

Fonte ufficiale

Fonte: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Verifica sempre i dettagli nell'avviso ufficiale.

Ultima verifica su TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) 1 mese fa

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Ogni volta che una fonte ufficiale ha ripubblicato questo bando con contenuti diversi. Monitoriamo tutte le fonti che indicizziamo, comprese le copie regionali dello stesso bando.

  1. Agisci subito
    • Stato: Ora risulta Chiusa
    • Valore stimato: Fissato a 3.300.000 €
    • Termine di presentazione: Anticipato di 1 giorno: ora 24 luglio 2026, 00:00
    • Valore stimato: Fissato a 3.300.000 €

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