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Finnland - Labor-, optische und Präzisionsgeräte (ausgenommen Brillen) - Dünnschichtabscheidungssystem für Ultrahochvakuum

Original Suomi - Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja) - Ultratyhjiössä toimiva ohutkalvodepositiojärjestelmä

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VTT, das Finnische Zentrum für Technische Forschung, hat einen Vertrag über ein Dünnschichtabscheidungssystem vergeben, das im Ultrahochvakuum arbeitet. Das Gerät dient dem Aufbau von Dünnschichtstrukturen für Forschung und Produktentwicklung und verarbeitet Wafer der Größe 200 mm. Es ist für die Herstellung besonders reiner und kontrollierter Strukturen im Ultrahochvakuum ausgelegt und wird in den Halbleiterfertigungsprozessen von VTT in Micronova eingesetzt. Das System ist auf die individuellen Forschungsanforderungen von VTT zugeschnitten und wird als Einzelstück für die Installation im Reinraum gefertigt. Die direkte Vergabe erfolgte nach Paragraph 40 Absatz 2 Nummer 5 des Beschaffungsgesetzes (1397/2016). Gewinner: DCA Instruments Oy. Auftragssumme: EUR 4.297.905. Vergabedatum: 2026-07-09.

Beschreibung

HANKINNAN KOHDE Hankinnan kohde on erikoislaite ohutkalvorakenteiden kasvattamista varten. Laitetta käytetään tutkimukseen ja tuotekehitykseen ja se on suunniteltu mahdollistamaan erityisen puhtaiden ja kontrolloitujen rakenteiden valmistamisen ultratyhjiössä. Laite käyttää 200 mm kiekkokokoa. SUORAHANKINTA Sovellettava oikeusperusta: Hankintalaki (1397/2016) 40 § 2 mom. 5 kohta Hankinta toteutetaan suorahankintana julkisista hankinnoista ja käyttöoikeussopimuksista annetun lain (1397/2016) 40 §:n 2 momentin 5 kohdan perusteella. Kyseisen säännöksen mukaan hankintayksikkö voi tehdä suorahankinnan, jos hankittava tavara valmistetaan vain tutkimusta, kokeilua, tuotekehitystä tai tieteellistä tarkoitusta varten eikä kyseessä ole massatuotanto tavaran valmistamisen taloudellisen kannattavuuden varmistamiseksi tai tutkimus- ja kehityskustannusten kattamiseksi; Hankinnan kohde on VTT:n yksilöityihin tarpeisiin tutkimuskäyttöön hankittava ultratyhjiössä toimiva materiaalidepositiolaitteisto, jota käytetään VTTn Micronovan puolijohdevalmistusprosesseissa. Laitteisto valmistetaan yksittäiskappaleena VTTn asettamien reunaehtojen ja vaatimusten mukaisesti asennettavaksi Micronovan puhdastilaan tieteellistä tarkoitusta varten. Laitteisto on suunniteltu uraauurtavaa tutkimusta ja uusien kyvykkyyksien kehittämistä varten, eikä laitteistoa valmisteta tai voida sellaisenaan käyttää muuhun käyttöön tai laajentaa kaupalliseen massatuotantoon. Laitteisto räätälöidään yksilöllisesti VTTn tarpeiden mukaan (depositiolaitteiden, materiaalien, höyrystyslaitteiden, tyhjiöpumppujen, kaasulinjojen, kammio-konfiguraatioiden, antureiden, mittalaitteiden ja monen muun muuttujan osalta). Hankintahinnalla katetaan vain tämän yksittäisen räätälöidyn laitteiston suunnittelu, valmistus ja asennus, eikä se sisällä toimittajan massatuotantoon tähtäävää kehitystyötä. Edellä mainituin perustein hankinnalle on mainitun lainkohdan mukainen suorahankintaperuste.

Amtliche Quelle

Quelle: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Prüfen Sie alle Angaben stets in der amtlichen Bekanntmachung.

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