Opis
The equipment to be procured is a multitube thermal processing furnace (MTPF) essential for the deposition of materials for quantum, photonic and x-ray applications of the groups at the LNQ and LXN laboratories and for all PSI cleanroom users. The MTPF should have a horizontal arrangement of the tubes and should be capable to process in one load up to 50 wafers of 200 mm diameter with good within-wafer, wafer-to-wafer and batch-to-batch uniformity. The MTPF should have an automation option allowing to process, at least, 4 wafer batches of 50 wafers in the same or different tubes one after the other without the presence of operator. The MTPF shall be delivered with four 200 mm compatible tubes: - Tube 1: atmospheric thermal dry and wet oxidation (quartz tube up to 1050°C; optional SiC tube up to 1250°C); - Tube 2: LPCVD stoichiometric Si3N4 layers for photonic applications and low-stress SiNx layers for membrane fabrication; - Tube 3: LPCVD TEOS-based SiO2 layers; - Tube 4: LPCVD polycrystalline and amorphous Si. The MTPF shall be installed through the wall, with the loading station on the cleanroom side and the remaining equipment (furnaces, electronic racks, gas cabinets, pumps and related infrastructure) on the gray room side. It shall be capable of 24/7 operation with a guaranteed uptime of at least 90% and a minimum 2-year warranty.
Oficjalne źródło
Źródło: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)
Zawsze weryfikuj szczegóły w oficjalnym ogłoszeniu.
Ostatnia weryfikacja w TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) 1 miesiąc temu
Więcej od tego zamawiającego
Pełny profil zamawiającego4 otwarte przetargi w tej chwili
- ADRESS 2.0 - Przyrząd do rezonansowego nieelastycznego rozpraszania promieniowania X Zostało 29 dni
- Szwajcaria - Akceleratory cząstek - Przyrząd ADRESS 2.0 do rezonansowego nieelastycznego rozpraszania promieniowania X (RIXS) Zostało 29 dni
- Laser do spektroskopii pompa-sonda dla SLS 2.0 Nie opublikowano terminu
Ostatnie udzielenia
Podobne przetargi
Kontekst rynkowy
- Śr. otwarty przetarg · Sprzęt laboratoryjny i precyzyjny
- 5 660 361 €
- Historia zamawiającego w Aperlena
- 23 zarejestrowanych ogłoszeń · 5 udzielonych
- 2 609 482 € w udzielonych zamówieniach
Nie przegap przetargów takich jak ten
14 nowych ogłoszeń w ostatnich 7 dniach: Sprzęt laboratoryjny i precyzyjny, Szwajcaria. Otrzymuj e-mail, gdy pojawią się nowe ogłoszenia. Za darmo.
Ustaw mój alert