Przejdź do treści
Aperlena
Język:

Finlandia - Sprzęt laboratoryjny, optyczny i precyzyjny (z wyłączeniem okularów) - Urządzenie do osadzania chemicznego z fazy gazowej wspomagane plazmą

Oryginał Finland - Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) - Plasma enhanced chemical vapour deposition tool

Udzielony Ogłoszenie o udzieleniu zamówienia Nie opublikowano terminu
Obserwuj ten przetarg

Składanie ofert zakończone. Udzielenie zamówienia lub sprostowanie tego ogłoszenia: e-mail, gdy rejestr to zobaczy. Zaloguj się

  1. Udzielony
  2. Opublikowano

Streszczenie

Streszczenie wygenerowane automatycznie

VTT zakupiło system osadzania chemicznego z fazy gazowej wspomagany plazmą (PECVD), zautomatyzowany typu kasetka do kasetki, do osadzania cienkich warstw dielektrycznych, takich jak SiO2, SiN, TEOS, SiON i a-Si, do celów badawczych i linii pilotażowej w czystym pomieszczeniu VTT Micronova. Kontrast został udzielony bezpośrednio firmie KLA/SPTS na podstawie artykułu 40, sekcji 2(2), fińskiej ustawy o zamówieniach publicznych (1397/2016). Tylko pierwotny producent mógł zintegrować nowy system z istniejącą komorą głębokiego trawienia jonowego SPTS należącą do VTT, ze względu na własnościowe prawa do sprzętu i oprogramowania. Status: kontrakt udzielony. Data udzielenia: 2026-09-02.

Opis

THE SUBJECT OF THE PROCUREMENT The subject of the procurement is a plasma-enhanced automated cassette to cassette chemical vapor deposition (PECVD) system for deposition of dielectric thin films (SiO#, SiN, TEOS, SiON, a Si) for research and pilot line use in the VTT Micronova cleanroom. DIRECT AWARD, Article 40 2(2) of Finnish Procurement act (1397/2016) The procurement will be carried out as a direct award in accordance with 40 article Section 2(2) of the Finnish Public Procurement Act. According to the 40 § section 2(2) of the Act on Public Contracts (1397/2016), only a certain supplier can implement the procurement for a technical reason, or for a reason related to protecting an exclusive right; it shall be a further condition that there are no reasonable alternatives or substitute solutions, and that the absence of competition is not due to an artificial narrowing of the terms and conditions of the procurement. The justification for direct procurement applies in this case, as VTT already operates an existing deep reactive ion etching (DRIE) system manufactured by SPTS. In order to extend the operational lifetime of the existing etch chamber, and optimize the use of limited cleanroom space, it is necessary to integrate the existing etch chamber with a new system. Due to proprietary hardware and software rights, only the original manufacturer of the existing DRIE system (KLA/SPTS) is technically capable of integrating the etch chamber with newer system configurations. The process tool control software is developed by the equipment manufacturer and is specifically designed for defined system configurations; consequently, it is not transferable to equipment supplied by other manufacturers. Accordingly, no reasonable alternative or substitute solution exists, and the absence of competition is not the result of an artificial restriction of the procurement conditions.

Oficjalne źródło

Źródło: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Zawsze weryfikuj szczegóły w oficjalnym ogłoszeniu.

Ostatnia weryfikacja w TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) 1 tydzień temu

Zobacz oficjalne ogłoszenie

Więcej od tego zamawiającego

Pełny profil zamawiającego

5 otwartych przetargów w tej chwili

Ostatnie udzielenia

Podobne przetargi

Kontekst rynkowy

Śr. otwarty przetarg · Sprzęt laboratoryjny i precyzyjny
5 397 473 €
2 038 otwartych teraz w Europie
Historia zamawiającego w Aperlena
66 zarejestrowanych ogłoszeń · 45 udzielonych
20 197 999 € w udzielonych zamówieniach

Nie przegap przetargów takich jak ten

8 nowych ogłoszeń w ostatnich 7 dniach: Sprzęt laboratoryjny i precyzyjny, Finlandia. Otrzymuj e-mail, gdy pojawią się nowe ogłoszenia. Za darmo.

Ustaw mój alert
Źródło

Skróty klawiszowe

Przeglądaj listę bez sięgania po mysz. Skróty nie działają podczas pisania w polu.

j
Następny wynik
k
Poprzedni wynik
Enter
Otwórz wynik
n
Następna strona
p
Poprzednia strona
c
Porównaj ten wynik
s
Dodaj ten wynik do krótkiej listy
/
Przejdź do pola wyszukiwania
?
Pokaż te skróty
Esc
Zamknij