Przejdź do treści
Aperlena
Język:

Denmark - Electronic, electromechanical and electrotechnical supplies - DUV Stepper

Udzielony Ogłoszenie o udzieleniu zamówienia Nie opublikowano terminu
Obserwuj ten przetarg

Napiszemy, jeśli zmieni się termin lub pojawi się sprostowanie. Za darmo. Zaloguj się

  1. Udzielony
  2. Opublikowano

Opis

To ensure the continuation of small and medium sized companies chip production and development in Danmark DTU Nanolab want to purchase a new (non-refurbished) DUV stepper using a 248 nm wavelength laser as illumination source (KrF laser unit from CYMER). It must furthermore be possible to handle several different wafer types and sizes: Wafer materials: Silicon, LNOI, Borofloat, quartz, III-V Wafer sizes in diameter: 100mm, 150mm and 200mm, furthermore it must be equipped with a multi wafer handling kit such that easy switching between at least 150mm and 200mm wafers is possible without longer downtime for reconfiguration of the equipment. Wafer thickness to be handled are from 350µm up to 1000µm and they can come with a bow up to at least +/- 200um for some wafers. As well as wafers with either notch or primary and secondary flats. It should also be equipped with a through silicon alignment possibility. The equipment must further have the possibility of off-axis as well as dipole illumination. Reuse of existing reticles and easy transfer of existing job files from the DUV stepper FPA-3000EX4 are essential. Due to space restriction the footprint of the main body must not exceed 2000mm x 3000mm x 2700mm (W x D x H).

Oficjalne źródło

Źródło: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Zawsze weryfikuj szczegóły w oficjalnym ogłoszeniu.

Ostatnia weryfikacja w TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) 4 tygodnie temu

Zobacz oficjalne ogłoszenie

Więcej od tego zamawiającego

Pełny profil zamawiającego

12 otwartych przetargów w tej chwili

Ostatnie udzielenia

Podobne przetargi

Indkøb af lyskilder

Dania Maszyny elektryczne Varde kommune

4

dni do końca

160 518 €

Kontekst rynkowy

Śr. otwarty przetarg · Maszyny elektryczne
52 305 124 €
2 678 otwartych teraz w Europie
Historia zamawiającego w Aperlena
96 zarejestrowanych ogłoszeń · 63 udzielonych
50 189 707 € w udzielonych zamówieniach

Nie przegap przetargów takich jak ten

Otrzymuj e-mail o nowych przetargach: Maszyny elektryczne · Dania. Za darmo.

Ustaw mój alert
Źródło