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Francia - Apparecchiatura elettromeccanica - Strumento di incisione selettiva Si-SiGe da 300mm

Originale France - Équipement électromécanique - Equipement de 300mm de gravure sélective Si-SiGe - Dry selective_SiSiGe_etching tool

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Sintesi

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Il CEA Leti, organismo di ricerca francese situato in Francia, acquista uno strumento di incisione FEOL/MEOL per la propria sala bianca. L'apparecchiatura dovrà trattare wafer da 300mm e consentire l'incisione altamente selettiva e isotropica del silicio (Si) e del silicio-germanio (SiGe), a supporto della ricerca sulle tecnologie FDSOI 10nm e successive. Le opzioni obbligatorie riguardano il Processo 7 (incisione dello spacer SiCO), il Processo 8 (incisione dello spacer e SADP) e la formazione di manutenzione di livello 1. Le opzioni facoltative comprendono scambiatori di calore e chillers, un trasformatore elettrico, formazione di manutenzione avanzata e servizi di manutenzione preventiva, correttiva e parti di ricambio. I fornitori idonei possono presentare offerta secondo la procedura applicabile.

Descrizione

Le CEA Leti, pour ses activités de recherche, qui visent à développer les technologies FDSOI 10nm et au-delà (FDSOI10), souhaite faire l’acquisition d’un équipement de gravure FEOL/MEOL pour sa salle-blanche. L’équipement sera capable de traiter des wafers de 300mm et permettra la gravure hautement sélective et isotropique du silicium (Si) et silicium-germanium (SiGe). Il comprend les options à réponses obligatoires suivantes : - Option 1 : Process 7 (gravure du spacer SiCO) - Option 2 :Process 8 (gravure du spacer et SADP) - Option 3 : Formation de maintenance Niveau 1 Ainsi que le coût des options à réponses facultatives : - Option 4 : Échangeurs de chaleur (Heat exchangers) et systèmes de refroidissement (chillers) (Section 3.2.6) - Option 5 : Transformateur électrique (Power supply transformer) (Section 4.1.4) - Option 6 : Formation de maintenance Avancé (Chapitre 9) - Option 7 : Services de maintenance préventive, corrective et pièces de rechange nécessaires (Section 12.2)

Fonte ufficiale

Fonte: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Verifica sempre i dettagli nell'avviso ufficiale.

Ultima verifica su TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) 1 mese fa

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Questo committente non ha ancora aggiudicazioni registrate in questo settore. Aggiudicatari abituali, Macchine elettriche - Francia

Impresa Aggiudicazioni Importo totale aggiudicato Ultima aggiudicazione
REXEL FRANCE 31 €2,6M set 2026
SONEPAR FRANCE DISTRIBUTION 17 €1,7M ago 2026
Leblanc illuminations 10 629.151 € ago 2026
BLACHERE ILLUMINATION 6 638.640 € set 2026
AMBU SARL 4 544.800 € lug 2026

Sulla base di 494 aggiudicazioni con profilo aziendale collegato negli ultimi 2 anni.

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