Saltar al contenido
Aperlena
Idioma:

Alemania - Equipo electromecánico - Grabado iónico reactivo

Original Deutschland - Elektromechanische Ausrüstung - Reaktives Ionenätzen

Cerrada Anuncio de licitación
Vigilar esta licitación

El plazo de ofertas ha cerrado. Una adjudicación o una corrección de este anuncio: un email cuando el registro lo ve. Iniciar sesión

  1. Publicada
  2. Fecha límite abierta 16 días
  3. Adjudicada pendiente

Resumen

Resumen generado automáticamente

Una cátedra universitaria alemana adquiere un sistema de grabado iónico reactivo para fabricar guías de ondas independientes mediante 'Faraday Cage Etching'. El equipo debe permitir desacoplar la densidad del plasma y la energía de los iones, refrigeración activa con helio por la cara posterior, un grabado suave ('soft etch') que preserve la calidad cristalina y una caja de gases con al menos 5 líneas para procesos de flúor (SF6/CHF3) y oxígeno, para procesar diamante y SiC sin modificar el hardware. Se requiere un diseño 'open load' para muestras pequeñas sobre wáferes portadores.

Descripción

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichtig ist die schonende Entfernung von Oberflächenschichten ("Soft Etch"), ohne neue Defekte tief in den Kristall einzutragen. Letztlich werden für die Strukturierung der Solid Immersion Lenses (SILs) in Diamant ein reines Sauerstoff-Plasma benötigt, während SiC eine Fluor-Chemie (SF₆/CHF₃) erfordert. Entsprechend notwendig ist eine Gasbox mit mindestens 5 Leitungen für Fluor- und Sauerstoff-Prozesse , um beide Materialklassen ohne Hardware-Umbau bearbeiten zu können. Ein "Open Load"-Design ist zudem für die geplante Arbeitsweise (Bearbeitung kleiner Bruchstück-Proben auf Carrier-Wafern) die technisch sinnvollste Lösung, da es im Gegensatz zu Load-Lock-Systemen keine aufwendige Anpassung von Roboter-Handlingsystemen an irreguläre Probengeometrien erfordert.

Fuente oficial

Fuente: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Verifica siempre los detalles en el anuncio oficial.

Última verificación con TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) hace 3 semanas

Ver el anuncio oficial

Más de este comprador

Perfil completo del comprador

Adjudicaciones recientes

Licitaciones similares

Contexto de mercado

Licitación abierta media · Maquinaria eléctrica
52.625.284 €
3.053 abiertas ahora en Europa
Historial del comprador en Aperlena
13 anuncios registrados · 7 adjudicados
0 € en contratos adjudicados

No te pierdas ninguna licitación como esta

34 anuncios nuevos de Maquinaria eléctrica en Alemania en los últimos 7 días. Recibe un email cuando aparezcan anuncios nuevos. Gratis.

Crear mi alerta
Fuente

Atajos de teclado

Recorre una lista sin tocar el ratón. Los atajos no actúan mientras escribes en un campo.

j
Resultado siguiente
k
Resultado anterior
Intro
Abrir el resultado
n
Página siguiente
p
Página anterior
c
Comparar este resultado
s
Añadir este resultado a la lista corta
/
Ir al cuadro de búsqueda
?
Mostrar estos atajos
Esc
Cerrar