Saltar al contenido
Aperlena
Alertas gratis

Deutschland - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke - Single Wafer ALD for TiN (IPMS-MRS05.1) - PR896468-2480-P

Adjudicada Adjudicación de contrato

Datos clave

Órgano de contratación
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Dónde
Alemania Dresden
Procedimiento
Procedimiento negociado El órgano de contratación selecciona candidatos y negocia después las ofertas antes de decidir. Entrada completa Por encima del umbral europeo Un contrato lo bastante grande para que se apliquen las normas europeas y deba publicarse en TED. Entrada completa
Código CPV El vocabulario común de la UE para lo que se compra: un código de ocho cifras que lleva todo anuncio. Entrada completa
42990000 Máquinas diversas para usos especiales
Idioma original
Alemán
Fuente
vía TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU), verificado hace 1 mes
Número de anuncio
159026-2026
Vigilar esta licitación

El plazo de ofertas ha cerrado. Una adjudicación o una corrección de este anuncio: un email cuando el registro lo ve. Iniciar sesión

  1. Publicada
  2. Adjudicada pendiente

Descripción

Single Wafer ALD for TiN (IPMS-MRS05.1) 1 Stück Single Wafer ALD for TiN Es wird eine Einzelwafer-Atomschichtabscheidungsanlage für TiN sowie für Al2O3 und SiO2 adressiert. Das System muss mit einer ferngesteuerten Plasmaquelle entweder für den TiN-Prozess oder für die Vorbehandlung der Oberfläche direkt vor der ALD ausgestattet sein. Dieses System ist für zwei wichtige Anwendungen in der Prozesslinie erforderlich. Eine Anwendung ist die Abscheidung einer TiN-Barriere innerhalb von TSV für die fortgeschrittene Integration von MEMS-Chips. Das zweite Anwendungsszenario ist die Abscheidung von TSV-Liner/Barriere auf der Via- oder Frontseite für QMI-Metallisierungssysteme (quasi monolithische Integration). Bei beiden Anwendungen ist die konforme Abscheidung der Barriere notwendig, um eine optimale Kontaktqualität zu erreichen. Es ist wichtig, dass nur die Vorderseite eines Wafers mit dem Film beschichtet wird. Außerdem muss das System in der Lage sein, modernste dielektrische Schichten wie Al2O3 und SiO2 zu erzeugen. Ein solches System muss direkt in die fortschrittliche QMI-Integrationslinie integriert werden, um Verunreinigungen zu vermeiden, weshalb mechanische Defekte und Verunreinigungen von entscheidender Bedeutung sind. Das System wird in einer normalen Reinraum-Trägerstruktur installiert. Optionale Leistungspositionen: 02.02 Hardwareanforderungen "Single Wafer oder Batch-Kammer mit SiO2 und Al2O3 ALD getrennt von TiN-Prozesskammer " ja / nein 04.06 Kassetten- / Wafer-Spezifikationen Verarbeitung von Quarz-Wafern gemäß o.g. Spezifikationen ja / nein 08.01 Prozesssystem Alle Manometeranschlüsse sind mit einem Isolierventil ausgestattet, um einen Austausch ohne Entlüftung der Kammer zu ermöglichen ja / nein 09.01.01 Prozessspezifikation - allgemein System zur Schichtwachstumskontrolle (Quarzkristall-Mikrowaage, Reflektometer, Ellipsometer o.ä.) ja / nein 12. 06 Erweiterte Gewährleistung Bitte bieten Sie eine erweiterte Gewährleistung von weiteren 24 Monaten an ja / nein 13.01 Optionales Atomschichten-Ätzverfahren für adressierte Materialsysteme in den gleichen Prozesskammern ja / nein 13.02 Optionales optisches In-situ-Monitoring (z.B. Ellipsometrie) zur Rückmeldung der Prozesskontrolle ja / nein 13.03 Optinales Set von Verbrauchsteilen (Kammereinsätze, O-Ringe, Ventile, etc.) zur Abdeckung der Gewährleistungszeit ja / nein

Fuente oficial

Fuente: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Verifica siempre los detalles en el anuncio oficial.

Última verificación con TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) hace 1 mes

Ver el anuncio oficial

Más de este comprador

Perfil completo del comprador

87 licitaciones abiertas ahora mismo

Adjudicaciones recientes

Historial de cambios

Cada vez que una fuente oficial ha vuelto a publicar este anuncio con contenido distinto. Vigilamos todas las fuentes que indexamos, incluidas las copias regionales del mismo anuncio.

  1. Léelo antes de presentarte
    • Objeto y criterios: Se ha ampliado la descripción. Reléela antes de presentarte.

Sigue esta licitación y te escribimos en cuanto cambie. Crear cuenta

Licitaciones similares

Contexto de mercado

Licitación abierta media · Maquinaria industrial
1.927.040 €
2.357 abiertas ahora en Europa
Historial del comprador en Aperlena
385 anuncios registrados · 181 adjudicados
651.275 € en contratos adjudicados

No te pierdas ninguna licitación como esta

40 anuncios nuevos de Maquinaria industrial en Alemania en los últimos 7 días. Recibe un email cuando aparezcan anuncios nuevos. Gratis.

Crear mi alerta
Abrir anuncio

Atajos de teclado

Recorre una lista sin tocar el ratón. Los atajos no actúan mientras escribes en un campo.

j
Resultado siguiente
k
Resultado anterior
Intro
Abrir el resultado
n
Página siguiente
p
Página anterior
c
Comparar este resultado
s
Añadir este resultado a la lista corta
/
Buscar desde cualquier página
Ctrl K
Buscar desde cualquier página
?
Mostrar estos atajos
Esc
Cerrar

Empieza por una pregunta

Explorar por sector

Índice

Cerrar
Iniciar sesión

Idioma