Saltar al contenido
Aperlena
Idioma:

Deutschland - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke - CD-SEM Measurement System (IPMS-MRS03.1) - PR884397-2480-P

Adjudicada Adjudicación de contrato Sin fecha límite publicada
Vigilar esta licitación

El plazo de ofertas ha cerrado. Una adjudicación o una corrección de este anuncio: un email cuando el registro lo ve. Iniciar sesión

  1. Publicada
  2. Adjudicada pendiente

Descripción

CD-SEM Measurement System (IPMS-MRS03.1) 1 CD-SEM Measurement System Anforderungen für die Top-Down-Messung kritischer Abmessungen von Linien/Zwischenräumen, Löchern/Spalten und anderen feinen Merkmalen, wie z. B. längliche Hile-/Säulenmuster, die während der Waferherstellung auf Halbleiterwafern gebildet werden, unter Verwendung eines CD-SEM mit hohem Durchsatz. Das System wird für die Bearbeitung von MEMS-Wafern in einer CMOS-kompatiblen Clean-Room-Klasse 10 (ca. ISO 4) Produktionsumgebung eingesetzt. Optionale Leistungspositionen: 1.15 Allgemeine Anforderungen Das System ist mit einer unterbrechungsfreien Stromversorgung (USV) ausgestattet. Ja 3.3 Messsystem "Das rückführbare zertifizierte Normal ist Bestandteil der Lieferung. Die Kalibrierungen sind zum Zeitpunkt der Auslieferung nicht älter als 20% des empfohlenen Kalibrierintervalls. Hinweis: Ein rückführbares zertifiziertes Normal kann vom Lieferanten zur Verfügung gestellt werden. Ansonsten stellt das Fraunhofer IPMS ein VLSI-zertifiziertes Normal zur Verfügung." Ja 4.16 Prozess Das System ist in der Lage, 3D-Messungen mit einem geneigten Strahl durchzuführen. Ja 4.17 Prozess Das System kann rückgestreute Elektronen (BSE) erkennen und sichtbar machen. Es ist möglich, CD-Messungen an dem BSE-Bild durchzuführen. Ja 8.2 Optionale Werkzeugeigenschaften Bitte geben Sie ein Angebot für einen Satz von Verbrauchsmaterialien (Lampen, O-Ringe, Ventile usw.) ab. Ja 8.4 Optionale Werkzeugeigenschaften Bitte erstellen Sie ein separates Angebot für typische Ersatzteile wie Achsengeber, Laserinterferometer, etc. Ja 11.4 Verlängerte Gewährleistung Es sollte eine verlängerte Gewährleistung ab dem Datum angeboten werden, an dem die gesetzliche Gewährleistung abläuft. Eine erweiterte Gewährleistung von weiteren 12 Monaten sollte angeboten werden. Während der Gewährleistungszeit sollten alle Kosten für Support, Reparatur und Ersatzteile abgedeckt sein. 12 Monate

Fuente oficial

Fuente: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Verifica siempre los detalles en el anuncio oficial.

Última verificación con TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) hace 1 mes

Ver el anuncio oficial

Más de este comprador

Perfil completo del comprador

87 licitaciones abiertas ahora mismo

Adjudicaciones recientes

Historial de cambios

Cada vez que una fuente oficial ha vuelto a publicar este anuncio con contenido distinto. Vigilamos todas las fuentes que indexamos, incluidas las copias regionales del mismo anuncio.

  1. Léelo antes de presentarte
    • Objeto y criterios: Se ha ampliado la descripción. Reléela antes de presentarte.

Sigue esta licitación y te escribimos en cuanto cambie. Crear cuenta

Licitaciones similares

Contexto de mercado

Licitación abierta media · Maquinaria industrial
1.935.059 €
2.374 abiertas ahora en Europa
Historial del comprador en Aperlena
385 anuncios registrados · 181 adjudicados
651.275 € en contratos adjudicados

No te pierdas ninguna licitación como esta

39 anuncios nuevos de Maquinaria industrial en Alemania en los últimos 7 días. Recibe un email cuando aparezcan anuncios nuevos. Gratis.

Crear mi alerta
Fuente

Atajos de teclado

Recorre una lista sin tocar el ratón. Los atajos no actúan mientras escribes en un campo.

j
Resultado siguiente
k
Resultado anterior
Intro
Abrir el resultado
n
Página siguiente
p
Página anterior
c
Comparar este resultado
s
Añadir este resultado a la lista corta
/
Ir al cuadro de búsqueda
?
Mostrar estos atajos
Esc
Cerrar